X射線熒光就是被分析樣品在X射線照射下發出的X射線，它包含了被分析樣品化學組成的信息，通過對上述X射線熒光的分析確定被測樣品中各組份含量的儀器就是X射線熒光分析儀。
作原理及點
作原理
熒光，顧名思義就是在光的照射下發出的光。
從原子物理學的知識我們知道，對每種化學元素的原子來說，都有其定的能結構，其核外電子都以各自有的能量在各自的固定軌道上運行，內層電子在足夠能量的X射線照射下脫離原子核的束縛，成為自由電子，我們說原子被激發了，處于激發態，這時，其他的外層電子便會這空位，也就是所謂躍遷，同時以發出X射線的形式放出能量。由于每種元素的原子能結構都是定的，它被激發后躍遷時放出的X射線的能量也是定的，稱之為征X射線。通過測定征X射線的能量，便可以確定相應元素的存在，而征X射線的強弱(或者說X射線光子的多少)則代表該元素的含量。
量子力學知識告訴我們，X 射線具有波粒二象性，既可以看作粒子，也可以看作電磁波。看作粒子時的能量和看作電磁波時的波長有著對應關系。這就是的普朗克公式:E=hc/λ。顯然，無論是測定能量，還是波長，都可以實現對相應元素的分析，其效果是樣的
儀器應用域
鋼鐵行業:生鐵、爐渣、礦石、燒結礦、團礦、鐵粉、鐵礦石等。
水泥行業:生料、熟料、水泥、原材料等。
耐火材料:主要包括硅質的粘土類、鋁質的礬土類、鎂質的鎂砂類、鉻質類、各類剛玉等耐火材料。
有色行業:鋁廠各類樣品、鉛鋅礦、銅礦、錫礦、銀礦、鉬礦等。
電氣電子產品行業:針對ROHS六種有害物質檢測，主要包括:白家電，如電冰箱、洗衣機、微波爐、空調、吸塵器、熱水器等;黑家電，如音頻、視頻產品、DVD、CD、電視接收機、IT產品、數碼產品、通信產品等;電動具，電動電子玩具、療電氣設備等。
食品行業:食品中重金屬濃度分析。
考古學:古物年代鑒定。
藝術品修復:顏料中金屬成分分析。
