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形貌輪廓激光顯微鏡是采用激光顯微鏡技術的表面輪廓形貌儀器,具有白光共聚焦,激光共聚焦,差分干涉對比,白光干涉,相移干涉法和光譜反射薄膜厚度測量6種表面形貌輪廓測試技術。
形貌輪廓激光顯微鏡特點
提供高達6種表面形貌輪廓測試技術功能
滿足工業應用的規格和高精度
多種測量,分析功能
全自動操作
形貌輪廓激光顯微鏡具有共焦光學，差分干涉對比度，垂直掃描白光干涉測量，相移干涉測量和光譜反射膜厚度測量。它解決了通常需要使用多種工具的各種需求。
可作為白光共聚焦顯微鏡使用,提供高對比度,全彩色觀察和高精度3D輪廓形貌測量功能
可作為激光共聚焦顯微鏡使用,提供高解析度圖像
差分干涉對比技術結合共聚焦光學提供高對比度層析圖
垂直掃描白光干涉功能提供納米尺度測量，特別適合晶圓,薄膜測量
相位轉換干涉技術提供*高分辨率層析測量功能
光譜反射技術可以測量透明薄膜厚度
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