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超高真空激光分子束外延團簇系統 laser cluster將不同的薄膜和分析技術結合成一個強大的系統。***多可將七個單獨的腔室連接到中央傳輸模塊，從而在超高真空條件下實現復雜的處理！

超高真空激光分子束外延團簇系統 laser cluster將不同的薄膜和分析技術結合成一個強大的系統。***多可將七個單獨的腔室連接到中央傳輸模塊，從而在超高真空條件下實現復雜的處理！

超高真空激光分子束外延團簇系統的核心是中央傳輸模塊和負載鎖定室。額外的沉積、分析和專門的轉移模塊很容易添加到系統中。由于系統的模塊化設計（每個模塊都安裝在帶輪子的獨立支架上），這是一個快速而簡單的過程。
超高真空激光分子束外延團簇系統的設計既節省了空間，又提供了的可接近性：所有真空室均為獨立式，便于接近所有法蘭和部件。

中央轉移室和傳輸模塊
中央轉移和處理室是集群超高真空激光分子束外延團簇系統的核心，高度靈活，可適應不同的工藝模塊。它安裝在一個堅固的鋼架上，并具有用于六個或八個附加腔室的對接法蘭。它還包括系統的烘烤加熱器組件，包括一個帶中央循環風扇的12 kW加熱器。其他功能包括：
六/八個端口（一個由負載鎖占據），帶有CF63（4?"）或CF150（8"）法蘭
鈦升華/離子吸氣劑組合泵在低壓下的高抽運速度
低10?10毫巴標度基準壓力
精確的中央重型機械手/轉移機構，能夠處理直徑為6"、重量為1 kg、三個自由度（伸展、旋轉、高度）的負載
轉移系統可以轉移襯底/樣品，也可以轉移激光MBE室的PLD靶盒
樣品和目標轉盤的可選內部存儲系統
帶頂置顯示屏的攝像系統，方便監控傳輸
傳輸系統可以進行修改，以適應各個附加分析或處理系統的要求。

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