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SMC新推出了一款平行密封型門閥XGTP系列。產(chǎn)品采用平行密封結(jié)構(gòu)，可對(duì)應(yīng)300mm晶圓。適用于半導(dǎo)體裝置的真空工藝腔室與傳輸腔室之間的密封。
SMC平行密封型門閥XGTP系列產(chǎn)品參數(shù)：長(zhǎng)壽命：300萬(wàn)次（常溫時(shí)）
低發(fā)塵：發(fā)塵量減少到1/5以下（與舊型號(hào)相比）
省氣：耗氣量減少22%
輕量：14kg（盒式）
工作窗尺寸：50mm X 336mm
平行密封構(gòu)造
門上升、下降的直線動(dòng)作和門開閉的夾緊采用平行密封（L motion）構(gòu)造，降低了摩擦系數(shù)，可大幅減少發(fā)塵量并延長(zhǎng)使用壽命。
應(yīng)用場(chǎng)合
半導(dǎo)體加工過(guò)程中，針對(duì)各工藝腔室之間的隔離。