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北京海富達科技有限公司
主營產(chǎn)品： 臭氧檢測儀,環(huán)境檢測儀器,水質分析儀/ORP測定儀/溶解氧 |
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聯(lián)系電話
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北京海富達科技有限公司
主營產(chǎn)品： 臭氧檢測儀,環(huán)境檢測儀器,水質分析儀/ORP測定儀/溶解氧 |
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| 參考價 | ￥ 5680 |
| 訂貨量 | 1臺 |
更新時間：2025-07-16 10:50:43瀏覽次數(shù)：1057
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| 應用領域 | 化工 |
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氣體流量控制器報價氣體流量控制器報價（氫氣） 0-300 sccm 型號:XLRB-D07-19B庫號：M410042
質量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于
對氣體的質|量流星進行測量;質|量流量控制器
(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的
質|量流量進行測量和控制。它們在半導體WEI電
子工業(yè)、TE|種材料研制、化學工業(yè)、石油工業(yè)、真空等多種領域的科研和中有著應用。其典型的應用場合包括;電子工藝設
備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺
射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、WEI|
反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜
儀及其它分析儀器。
D07-19B 型 MFC 性能指標
流量規(guī)格( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) SLM
流量控制范圍：2-99.99999999%ofF.S.
準|確|度±1 % F.S. (20,30SLM: ±2% F.S.)
線性±0.5 % F.S. (20,30SLM:±2 % F.S.J
重復精度±0.2 % F.S.
響應時間≤2 sec
工作壓差范圍≤10SLM: 0.1 ~ 0.5 MPa(14.5~72.5 psid)
> 10SLM: 0.1~ 0.3 MPa(14.5~43.5 psid)
工作壓力≤1 MPa(145 psig)
耐壓3MPa (435.1 psig)
工作環(huán)境溫度5°C~45°C
輸入信號0V~+5.00V.(輸入阻|抗＞100K,輸出電流≯3mA)
輸出信號0V~+5.00V.(輸入阻|抗＞100K,輸出電流≯3mA)
電源+15V 50 mA; -15V 200mA
重量0.95 kg
注意:質|量流量計和質|量流量控制器出廠通常用氮
氣(N2)標定。
質|量流量的單位規(guī)定為; SCCM (標準升/分);
SLM (標準升/分)
標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度--- 273.15K (0°C );
氣壓- 101325 Pa (760mm
Hg)，單位SCCM
和"ml /min, 0°C,1atm"等同，單位SLM和"L/
min, 0°C,1atm"等同。
F.S. (Full Scale):滿量程值
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fm26- YX-LC防溢流防靜電控制器報價 ¥ 3500
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DMK-3CS-18脈沖控制儀報價 ¥ 780
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