玻璃蓋板采用超聲波清洗通常會(huì)殘留一些肉眼看不見(jiàn)的有機(jī)物和微粒，這無(wú)疑會(huì)對(duì)下一步工藝的進(jìn)行埋下隱患。等離子清洗機(jī)能讓玻璃蓋板清洗得更加*，對(duì)玻璃蓋板表面的主要清洗作用是活化，能使有機(jī)污染物化學(xué)反應(yīng)成碳?xì)浠衔铮啥趸己退畯牟Ａw板表面除去，促進(jìn)下一步蝕刻、涂覆、粘接等工藝，大大提高了產(chǎn)品良率。

等離子清洗機(jī)（Plasma Cleaner）又被稱為等離子蝕刻機(jī)、等離子去膠機(jī)、等離子活化機(jī)、Plasma清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、等離子清洗系統(tǒng)等。等離子處理機(jī)廣泛應(yīng)用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場(chǎng)合，通過(guò)等離子清洗機(jī)的表面處理，能夠改善材料表面的潤(rùn)濕能力，使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作，增強(qiáng)粘合力、鍵合力，同時(shí)去除有機(jī)污染物、油污或油脂，

等離子預(yù)處理是采用等離子表面處理機(jī)（等離子清洗機(jī)）在AF、AS、AG、AR鍍膜（噴涂）工藝前，對(duì)基材表面進(jìn)行精細(xì)化清洗、蝕刻和活化，可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于噴涂藥水的附著牢固和厚薄均勻。等離子處理機(jī)，等離子清洗機(jī)與灼燒處理相比不會(huì)損害樣品。同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì)產(chǎn)生有毒煙氣，中空和帶縫隙的樣品也可以處理。