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愛德華EH系列機械增壓泵已經過鑒定，可以在潛在易爆氣體環境中使用。機械增壓泵在相對較低的壓
力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質下，因此高度可靠，從而減少總體抽氣時
間。真空泵在使用一定的時間后，（1）會出現泵無法啟動（2）真空泵達不到極限真空（3）真空泵
的抽速太慢（4）真空泵工作中的溫度過高（5）真空泵的噪音過大（6）真空泵漏油，這就需要維修
更換耗材。
技術保證：擁有10年以上各類進口真空泵維修經驗及專業治具。
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Edwards愛德華半導體、平板顯示器、LED 和太陽能電池制造集成解決方案提供商，是工業、制
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構緊湊，使用時非常安靜，具備優良的潤滑回路，可靠性高，配有各種附件，可以滿足特定的應用需
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