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SC1-CIF勻膠機
  • SC1-CIF勻膠機
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貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-06-04 21:00:06

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CIF勻膠機轉速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

CIF勻膠機

 

CIF勻膠機轉速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

產品特點

采用閉環(huán)控制伺服電機,數(shù)字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

5寸全彩觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置)可選配10個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,多100個階段

內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

多重安全保護

電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;

蓋子自鎖功能,防止飛片蓋子彈開傷人;

雙重安全上蓋聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全。

一機兩用,根據(jù)不同樣品可選真空盤和非真空卡盤兩種旋涂模式。

不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,PTFE旋涂腔體,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盤,PTFE嵌鑲鋼化玻璃上蓋,耐酸堿防腐蝕,保證儀器苛刻條件下能正常運行。

適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

技術參數(shù)

 

型號

轉速(轉/分)

轉速穩(wěn)定度

勻膠時間

旋涂基片尺寸mm

外型尺寸(LxWxH)mm

SC1

50-10000

±1%

0-2000S

圓片Φ5-Φ100,方片大100x100

310x260x250

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