目錄:鄭州成越科學(xué)儀器有限公司>>二合一鍍膜儀>> 等離子濺射蒸發(fā)二合一鍍膜儀
本產(chǎn)品為二合一鍍膜儀,可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。設(shè)備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發(fā)鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規(guī)管,進(jìn)氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。
設(shè)備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。真空室采用上中下結(jié)構(gòu),樣品臺與靶的距離靈活可調(diào)。
設(shè)備真空獲得系統(tǒng)采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優(yōu)點。
真空腔體采用石英加工而成,呈現(xiàn)圓柱結(jié)構(gòu),外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優(yōu)良,能有效鍍膜質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù):
樣品臺 | φ80mm | 至蒸發(fā)源間距 |
20mm~50mm可調(diào) | φ80mm | |
直流濺射頭 | 數(shù)量 | 2" x1 |
蒸發(fā)系統(tǒng)
| 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 |
*高溫度 | 1700℃ | |
熱電偶 | S型熱電偶 | |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng)
| 機械泵 | GHD-031B |
抽氣接口 | KF16 | |
真空測量 | 電阻規(guī) | |
排氣接口 | KF16 | |
極限真空 | 10E-1Pa | |
供電電源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵:4L/S | |
濺射電源配置 | 數(shù)量 | 直流電源 x1 |
*大輸出功率 | 150w | |
其他
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 500 X 350 X 400mm | |
整機重量 | 15kg | |
整機功率 | 1.5kw |
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