目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>磁控濺射鍍膜儀>> CY-MSZ200-I-DC-AL桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 價格區(qū)間 | 5萬-10萬 |
---|---|---|---|
應用領(lǐng)域 | 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,航空航天,汽車及零部件 |
桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀是一種緊湊型鍍膜設備,采用磁控濺射技術(shù)在基片表面沉積薄膜。其核心特點包括:
鋁合金真空腔體:輕量化設計,耐腐蝕性好,適合實驗室或小規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境。
單靶配置:支持單一靶材(如金屬、合金或氧化物),結(jié)構(gòu)簡單,操作便捷。
磁控濺射技術(shù):利用磁場約束等離子體,提高濺射效率,形成均勻、致密的薄膜。
桌面設計:體積小巧,適合科研院所、高校實驗室等空間有限的場所。
應用領(lǐng)域:
該設備廣泛用于材料科學、光學、電子等領(lǐng)域,具體包括:
光學薄膜:如增透膜、反射膜、濾光片等。
電子器件:半導體電極、導電薄膜(如ITO)、傳感器涂層。
功能材料:耐磨涂層(如TiN)、防腐涂層、超硬薄膜(類金剛石)。
科研實驗:新材料開發(fā)、薄膜性能測試、教學演示等。
磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 桌面型鋁合金腔體單靶磁控濺射鍍膜儀 | |
產(chǎn)品型號 | CY-MSZ200-I-DC-AL | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ50mm |
旋轉(zhuǎn) | 自轉(zhuǎn)+公轉(zhuǎn)角度傾斜2英寸 | |
可調(diào)轉(zhuǎn)速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
腔體材料 | 鋁合金 | |
開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng) | 真空測量 | 復合真空計,量程:10-5~105Pa |
抽氣接口 | KF25 | |
系統(tǒng)真空 | 1.0E-1Pa(機械泵) | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
輸出功率 | 直流電源500W | |
其他參數(shù) | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
重 量 | 30kg | |
整機尺寸 | 385X450X420mm |