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氣體管路閥門(mén)知識(shí)

閱讀:1804          發(fā)布時(shí)間:2023-7-19

氣體管路閥門(mén)知識(shí)


半導(dǎo)體制造工藝需要使用高純度氣體,而氣體管路中的閥門(mén)是高純氣體管路中至關(guān)重要的一部分。

閥門(mén)的作用

閥門(mén)是用于控制管路中氣體流量的設(shè)備。在半導(dǎo)體高純氣體管路中,閥門(mén)的作用非常重要。閥門(mén)可以控制氣體流量和壓力,確保氣體流動(dòng)的穩(wěn)定和可靠性。閥門(mén)還可以隔離不同的管路,防止污染和混合。

閥門(mén)的類型

在半導(dǎo)體高純氣體管路中,有幾種常見(jiàn)的閥門(mén)類型。其中,常用的閥門(mén)包括截止閥、球閥、旋塞閥、蝶閥、電磁閥等。

截止閥:截止閥是一種常用的閥門(mén)類型,可以用于控制管路中氣體的流量和壓力。截止閥分為手動(dòng)截止閥和電動(dòng)截止閥兩種。手動(dòng)截止閥通常用于小流量和低壓力的氣體管路,而電動(dòng)截止閥則適用于高流量和高壓力的氣體管路。

球閥:球閥是一種常用的閥門(mén)類型,通過(guò)旋轉(zhuǎn)球體來(lái)控制氣體流量。球閥具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、使用方便、密封性能好等優(yōu)點(diǎn)。球閥適用于大流量和高壓力的氣體管路。



旋塞閥:旋塞閥是一種通過(guò)旋轉(zhuǎn)閥芯來(lái)控制氣體流量的閥門(mén)類型。旋塞閥具有結(jié)構(gòu)緊湊、操作簡(jiǎn)單、控制精度高等優(yōu)點(diǎn)。旋塞閥適用于中小流量和中小壓力的氣體管路。

蝶閥:蝶閥是一種通過(guò)旋轉(zhuǎn)蝶板來(lái)控制氣體流量的閥門(mén)類型。蝶閥具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量輕、占用空間小等優(yōu)點(diǎn)。蝶閥適用于大流量和低壓力的氣體管路。

電磁閥:電磁閥是一種可以通過(guò)電磁力來(lái)控制氣體流量的閥門(mén)類型。電磁閥具有響應(yīng)速度快、控制精度高等優(yōu)點(diǎn)。電磁閥適用于需要頻繁開(kāi)關(guān)和控制的氣體管路。




閥門(mén)的選擇

在選擇半導(dǎo)體高純氣體管路上的閥門(mén)時(shí),需要考慮以下幾個(gè)方面:

氣體種類:不同的氣體在管路中的特性不同,需要選擇適合該氣體的閥門(mén)。

壓力和流量:需要根據(jù)管路中的壓力和流量來(lái)選擇合適的閥門(mén)類型和規(guī)格。

環(huán)境要求:半導(dǎo)體高純氣體管路的環(huán)境要求非常高,需要選擇符合要求的閥門(mén)材質(zhì)和密封性能。

控制要求:需要根據(jù)控制要求選擇合適的閥門(mén)類型,如需要頻繁開(kāi)關(guān)和控制的管路可以選擇電磁閥。

材料:閥門(mén)的材料要求高純度、耐腐蝕、不產(chǎn)生顆粒和雜質(zhì)等。通常使用的材料有不銹鋼、銅、鋁等。對(duì)于特殊的氣體管路,也可以選擇使用特殊材料的閥門(mén)。

密封性能:高純氣體管路對(duì)閥門(mén)的密封性能要求很高,因?yàn)榧词购苄〉男孤┮矔?huì)對(duì)制造工藝產(chǎn)生影響。因此,選擇閥門(mén)時(shí)要注意其密封性能,盡量選擇密封性能好的閥門(mén)。

控制精度:在半導(dǎo)體制造工藝中,有些工藝對(duì)氣體流量的控制精度要求非常高,因此需要選擇控制精度好的閥門(mén)。通常情況下,電磁閥的控制精度最高,但價(jià)格也相對(duì)較高。

維護(hù)性:閥門(mén)是氣體管路中的關(guān)鍵設(shè)備,因此其維護(hù)性能也非常重要。選擇維護(hù)性能好的閥門(mén)可以降低維護(hù)成本和維護(hù)時(shí)間。



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