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INCA Crystal電子背散射衍射系統(EBSD)是顯微分析領域活力和前景的亞微米級顯微分析技術手段。它作為掃描電鏡上的一個附件，集顯微結構,顯微織構，相鑒定等多種功能于一身，開辟了一個全新的科學領域：INCA Crystal 覆蓋了TEM 和 XRD 的部分研究范圍，更重要的是，可以進行許多 TEM 和 XRD 所不能完成的研究工作。     

目前，INCA Cystal 剛剛完成了硬件和軟件的全面升級，其性能和功能全面超過了任何一家EBSD，真正做到了人無我有、人有我優。

應用：
電子背散射分析 (EBSD) 是在掃描電鏡（SEM）條件下分析樣品晶體結構的一種分析手段。

EBSD 的主要用途包括

• 大專院校和研究機構中的材料科學和冶金學研究
• 半導體行業的研究和制造
• 鋼鐵制造和處理
• 鋁制品的生產和處理
• 陶瓷業
• 電子業
• 汽車行業
• 太空技術和國防行業
• 能源業
• 核技術

在過去的十幾年中，EBSD已經成為掃描電鏡測量中的一種成熟手段，從樣品中獲取將提信息已經變得簡單易行。牛津儀器自從EBSD技術投入市場以來，一直致力于該技術的發展與研制。