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復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司

11
  • 2025

    07-02

    半導(dǎo)體制造中的掃描電鏡:從工藝診斷到失效分析

    掃描電鏡(SEM,ScanningElectronMicroscope)作為半導(dǎo)體行業(yè)中常用的高精度檢測(cè)工具,憑借其納米級(jí)分辨率和強(qiáng)大的表征能力,已廣泛應(yīng)用于芯片制造、材料開發(fā)、失效分析、工藝優(yōu)化等多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)。本文將詳細(xì)介紹掃描電鏡在半導(dǎo)體領(lǐng)域的典型應(yīng)用場(chǎng)景及其技術(shù)價(jià)值。掃描電鏡能譜一體機(jī)一、質(zhì)量檢測(cè)與工藝診斷1.硅片表面污染檢測(cè)在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,硅片表面污染會(huì)嚴(yán)重影響器件良率和可靠性。掃描電鏡可對(duì)污染物進(jìn)行高分辨率觀察,識(shí)別其形貌和分布特征,若配合能譜儀(EDS),還能進(jìn)一步分析污染物的元
  • 2025

    06-30

    掃描電子顯微鏡樣品制備全攻略:從原理到實(shí)踐

    掃描電子顯微鏡樣品制備全攻略:從原理到實(shí)踐掃描電子顯微鏡(SEM)是研究材料微觀結(jié)構(gòu)的重要工具,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)等領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)半個(gè)多世紀(jì)的發(fā)展,現(xiàn)代掃描電鏡不僅具備高分辨率形貌觀察功能,還能聯(lián)用能譜(EDS)、背散射電子衍射(EBSD)等探頭,實(shí)現(xiàn)成分分析與晶體結(jié)構(gòu)解析。然而,再先進(jìn)的儀器也離不開良好的樣品制備。SEM樣品制備的質(zhì)量,直接影響成像效果和分析結(jié)果。若樣品制備不當(dāng),即使電鏡性能優(yōu)(you)越,也難以獲得清晰圖像或準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。因此,掌握正確的制樣方法至關(guān)重要。一、
  • 2025

    06-30

    掃描電子顯微鏡對(duì)樣品有哪些要求?

    掃描電子顯微鏡通過(guò)束來(lái)掃描樣品的表面并生成高分辨率的圖像。因?yàn)樵搱D像具有很高的價(jià)值,所以一定要嚴(yán)格按照要求進(jìn)行操作。為了確保能夠得到清晰、準(zhǔn)確的顯微圖像,在使用要合理處理樣品。優(yōu)勢(shì):1、高分辨率與寬放大倍數(shù):分辨率:常規(guī)SEM1-10納米,場(chǎng)發(fā)射SEM0.4-2納米。放大倍數(shù):10倍至1,000,000倍連續(xù)可調(diào),覆蓋宏觀到納米尺度。2、大景深與立體成像:景深比光學(xué)顯微鏡高數(shù)百倍,適合粗糙表面三維成像。3、多功能分析:結(jié)合EDS、EBSD等附件,可同步分析形貌、成分、晶體結(jié)構(gòu)。4、非破壞性觀察:
  • 2025

    06-24

    全自動(dòng)掃描電鏡可以實(shí)時(shí)觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)變化

    在新材料的研發(fā)過(guò)程中,全自動(dòng)掃描電鏡可以實(shí)時(shí)觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)變化,幫助研究人員優(yōu)化制備工藝和參數(shù),提高材料的性能和質(zhì)量。例如,在鋰電池正極材料的研究中,通過(guò)掃描電鏡可以觀察正極材料的顆粒形狀、尺寸分布以及表面包覆情況,分析其對(duì)電池性能的影響,從而指導(dǎo)生產(chǎn)工藝的改進(jìn)。在產(chǎn)品質(zhì)量控制方面,可以快速檢測(cè)材料表面的缺陷、雜質(zhì)以及微觀結(jié)構(gòu)的均勻性,確保產(chǎn)品符合質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。在生物醫(yī)學(xué)研究中可用于觀察生物樣本的微觀形態(tài)和結(jié)構(gòu),如研究細(xì)胞的形態(tài)變化、細(xì)胞間的相互作用、生物膜的結(jié)構(gòu)以及藥物對(duì)細(xì)胞的影響等。例如,在
  • 2025

    06-18

    全自動(dòng)掃描電鏡的基本原理與結(jié)構(gòu)組成

    全自動(dòng)掃描電鏡(ScanningElectronMicroscope,SEM)是一種融合了電子光學(xué)技術(shù)與自動(dòng)化控制系統(tǒng)的微觀分析設(shè)備。它通過(guò)電子束掃描樣品表面,以高放大倍數(shù)和高精度觀察樣品的形貌、成分和結(jié)構(gòu),為材料科學(xué)、生物學(xué)、地質(zhì)學(xué)等領(lǐng)域的研究提供了強(qiáng)有力的支持。全自動(dòng)掃描電鏡基本原理與結(jié)構(gòu)組成:1.電子槍:全自動(dòng)掃描電鏡的電子槍是產(chǎn)生電子束的源頭,常見的有鎢絲槍、場(chǎng)發(fā)射槍(FEG)等類型。場(chǎng)發(fā)射槍具有更高的亮度和更小的電子源尺寸,能夠提供更高分辨率的圖像,但成本也相對(duì)較高;鎢絲槍則具有成本較
  • 2025

    06-03

    火山噴發(fā)前的“化學(xué)倒計(jì)時(shí)”,Neoscan顯微CT助力巖漿同化機(jī)制研究

    用戶案例|讀懂火山噴發(fā)前的“化學(xué)倒計(jì)時(shí)”,Neoscan顯微CT助力巖漿同化機(jī)制研究!在地質(zhì)研究中,“時(shí)間”是一項(xiàng)最難精確捕捉的變量。尤其是在火山噴發(fā)這樣的突發(fā)性地質(zhì)事件中,巖漿從深部穿越地殼、與圍巖反應(yīng)、最終噴出地表,這一過(guò)程可能僅在數(shù)天乃至數(shù)小時(shí)內(nèi)完成。如何獲取噴發(fā)前這一關(guān)鍵窗口的“時(shí)間密碼”?美國(guó)西華盛頓大學(xué)的研究團(tuán)隊(duì)給出了一個(gè)新思路——通過(guò)分析火山碎屑中石英晶體周圍的單斜輝石反應(yīng)邊(clinopyroxenereactionrims),重建巖漿同化至噴發(fā)的時(shí)間過(guò)程。而這項(xiàng)研究中,Neos
  • 2025

    05-27

    高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的檢定和校準(zhǔn)方法

    高分辨率臺(tái)式掃描電鏡的檢定和校準(zhǔn)是確保其性能穩(wěn)定、測(cè)量準(zhǔn)確的重要步驟。以下是一些基本的檢定和校準(zhǔn)方法:1.機(jī)械部分檢定與校準(zhǔn)-樣品臺(tái)運(yùn)動(dòng)精度:使用千分尺等精密量具,對(duì)樣品臺(tái)在X、Y、Z方向的運(yùn)動(dòng)范圍和精度進(jìn)行測(cè)量。檢查樣品臺(tái)移動(dòng)是否平穩(wěn)、有無(wú)卡頓或回程誤差等,確保樣品臺(tái)能夠準(zhǔn)確地將樣品移動(dòng)到電子束照射的位置。-鏡頭對(duì)準(zhǔn)與聚焦:通過(guò)觀察標(biāo)準(zhǔn)樣品(如具有清晰特征的微柵格樣品)在不同放大倍數(shù)下的成像情況,調(diào)整鏡頭的對(duì)準(zhǔn)和聚焦。確保電子束能夠準(zhǔn)確地聚焦在樣品表面上,獲得清晰的圖像。2.電子光學(xué)系統(tǒng)檢定與
  • 2025

    05-22

    AFM-SEM聯(lián)用技術(shù):半導(dǎo)體失效分析新突破(文末網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)預(yù)告)

    半導(dǎo)體是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的基礎(chǔ),支撐著從計(jì)算到數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的一切功能。隨著器件尺寸縮小且結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜,精準(zhǔn)的失效分析變得至關(guān)重要。AFM-in-SEM失效分析:該技術(shù)直接集成于FIB/SEM(聚焦離子束/掃描電鏡)環(huán)境,能夠在納米尺度下對(duì)半導(dǎo)體元件進(jìn)行原位、特定位置的電學(xué)與形貌表征。它提供精確的電導(dǎo)率映射和摻雜分布分析,同時(shí)保持樣品完整性。?核心優(yōu)勢(shì)特定位置的失效分析:利用SEM精確定位,結(jié)合高分辨率電導(dǎo)率與摻雜分布映射。.無(wú)縫真空工作流:與現(xiàn)有失效分析工具全兼容,避免表面氧化和污染。.探針保護(hù)與優(yōu)化接
  • 2025

    05-21

    高分辨率臺(tái)式掃描電鏡融合了電子光學(xué)技術(shù)

    高分辨率臺(tái)式掃描電鏡是一種在微觀尺度下對(duì)樣品進(jìn)行形貌觀測(cè)和分析的緊湊型設(shè)備,它融合了電子光學(xué)技術(shù)和創(chuàng)新的成像原理,為科研、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域提供了強(qiáng)大的工具。核心在于其電子光學(xué)系統(tǒng),這一系統(tǒng)能夠準(zhǔn)確地聚焦和操控電子束,使其以細(xì)致的直徑照射到樣品表面。在這個(gè)過(guò)程中,電子與樣品中的原子發(fā)生相互作用,產(chǎn)生各種信號(hào),如二次電子、背散射電子等。這些信號(hào)被探測(cè)器捕捉后,經(jīng)過(guò)處理轉(zhuǎn)化為圖像,從而展現(xiàn)出樣品的表面形貌。與傳統(tǒng)的大型掃描電鏡相比,高分辨率臺(tái)式掃描電鏡具有許多優(yōu)勢(shì)。它的體積較小,占用空間少
  • 2025

    05-21

    原子層沉積賦能無(wú)鈷 LiNiO? 正極材料全固態(tài)鋰電池性能革新

    NatureNanotechnology|原子層沉積賦能無(wú)鈷LiNiO?正極材料,全固態(tài)鋰電池性能革新!發(fā)表文章:High-energyall-solid-statelithiumbatteriesenabledbyCo-freeLiNiO2cathodeswithrobustoutside-instructures發(fā)表期刊:NatureNanotechnology01摘要本研究報(bào)道了一種基于無(wú)鈷LiNiO?(LNO)正極材料的高能量全固態(tài)鋰電池(ASSLBs),通過(guò)高壓O?合成和原子層沉積(A
  • 2025

    05-20

    比利時(shí)國(guó)家罪邢研所:法醫(yī)刑偵“神器”—飛納硅藻AI檢測(cè)

    在比利時(shí)國(guó)家fan罪學(xué)與刑事學(xué)研究所(NICC)的微跡與昆蟲學(xué)實(shí)驗(yàn)室中,LucBourguignon負(fù)責(zé)尋找并研究生物來(lái)源的微量物證,如人類和動(dòng)物毛發(fā)、昆蟲、植物、硅藻等。該實(shí)驗(yàn)室的分析結(jié)果被用于刑事調(diào)查和法庭審判。在微跡與昆蟲學(xué)實(shí)驗(yàn)室中,幾乎所有分析都涉及顯微鏡技術(shù)。實(shí)驗(yàn)室內(nèi)配備多種顯微鏡,其中一部分是光學(xué)顯微鏡,此外,槍擊殘留物實(shí)驗(yàn)室還配備有幾臺(tái)大型傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡(SEM)。微跡與昆蟲學(xué)實(shí)驗(yàn)室則需更高放大倍數(shù)的SEM圖像,但購(gòu)置大型設(shè)備的成本高昂,且需額外配套設(shè)施和專業(yè)人員支持。其他實(shí)驗(yàn)
  • 2025

    05-19

    ?它憑什么成為顯微CT中的“愛馬仕”?科研人都在用的Neoscan 顯微CT 揭秘

    它憑什么成為顯微CT中的“愛馬仕”?科研人都在用的比利時(shí)Neoscan顯微CT揭秘!你是否也曾為看不清材料內(nèi)部結(jié)構(gòu)而苦惱?是否在尋找一臺(tái)操作簡(jiǎn)單、掃描快速、圖像清晰的顯微CT?40年歷史沉淀,一直站在Micro-CT技術(shù)革新的前沿,Neoscan正在成為最懂你的顯微CT!Neoscan品牌歷史起點(diǎn):從一位年輕科學(xué)家的博士項(xiàng)目開始(1980)1980年:故事的序章開啟于1980年,當(dāng)顯微斷層掃描技術(shù)(micro-CT)被構(gòu)想時(shí),它還只是(AlexanderSasov)博士項(xiàng)目中的一個(gè)概念。1983
  • 2025

    05-12

    使用全自動(dòng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 評(píng)估液態(tài)金屬加工樣品

    粗鋼生產(chǎn)在高溫環(huán)境下引入了高氧化性條件。無(wú)論是采用高爐/轉(zhuǎn)爐聯(lián)合工藝,還是在電弧爐中對(duì)廢鋼和替代鐵元素進(jìn)行重熔,鋼水都會(huì)吸收數(shù)百甚至數(shù)千ppm的溶解氧。為了降低鋼水中氧的活度,可以添加碳、錳、硅、鋁、鈦和鈣等多種元素,這些元素對(duì)氧的親和力各不相同。例如,在熔池中添加約200ppm的鋁,可以將溶解氧降低至約3ppm,從而使微米級(jí)的AlO顆粒均勻分布在鋼水中。此外,鈣對(duì)氧的親和力更強(qiáng),但由于其沸點(diǎn)低,因此它不用于初級(jí)脫氧,而是用于改性?shī)A雜物。圖1.氧化鋁團(tuán)簇(頂部)和TiN立方體(底部)在夾雜物頂部
  • 2025

    05-09

    磷酸鋁 ALD 破解高鎳鋰電正極材料結(jié)構(gòu)疲勞難題

    在新能源汽車和儲(chǔ)能系統(tǒng)領(lǐng)域,鋰離子電池正極材料的性能突破始終是行業(yè)關(guān)注焦點(diǎn)。近期,英國(guó)華威大學(xué)及法拉第研究所發(fā)表于《PRXEnergy》的一項(xiàng)突破性研究成果揭示了PALD(粉末原子層沉積)技術(shù)在抑制高鎳正極材料結(jié)構(gòu)疲勞方面的潛力,為高電壓鋰電體系的商業(yè)化應(yīng)用鋪平了道路。該工作使用的ALD包覆工藝由ForgeNano提供。Part.1高鎳正極的"阿喀琉斯之踵"鎳含量超過(guò)60%的層狀氧化物正極(如LiNi0.8Mn0.1Co0.1O2,簡(jiǎn)稱NMC811)因其高比容量和能量密度成為下一代鋰電的核心材料
  • 2025

    04-27

    臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的應(yīng)用場(chǎng)景有哪些?

    臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡是結(jié)合場(chǎng)發(fā)射電子源與緊湊設(shè)計(jì)的分析工具,兼具高分辨率成像、多模式分析和易用性,適用于材料科學(xué)、生命科學(xué)及工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域。本公司提供的PhenomPharos飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射電鏡采用熱場(chǎng)發(fā)射電子源,信噪比高,使用壽命長(zhǎng),保證長(zhǎng)期穩(wěn)定的性能。臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射電鏡能譜一體機(jī)標(biāo)配背散射電子成像、二次電子電子成像和能譜分析功能,可對(duì)各種樣品進(jìn)行高分辨成像及元素分析應(yīng)用場(chǎng)景:1、材料科學(xué)研究納米材料:表征量子點(diǎn)、二維材料的層數(shù)、缺陷及界面結(jié)構(gòu)。能源材料:分析鋰離子電池電極材料的晶格畸變、顆粒團(tuán)聚及
  • 2025

    04-24

    南科大二維材料實(shí)驗(yàn)室開創(chuàng)性研究:場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡在手套箱中使用

    二維材料因其高的表面積與體積比而不穩(wěn)定,對(duì)環(huán)境因素如水分、氧氣和污染物高度敏感。這種敏感性會(huì)導(dǎo)致它們?cè)谧匀画h(huán)境氣氛下降解或發(fā)生化學(xué)變化。為解決這些挑戰(zhàn),南方科技大學(xué)先進(jìn)低維材料實(shí)驗(yàn)室(SuSTech)林君浩教授團(tuán)隊(duì)開發(fā)了一套新型的手套箱互聯(lián)系統(tǒng)——全惰性氛圍保護(hù)的手套箱互聯(lián)系統(tǒng)(GIS),用于研究這些材料。通過(guò)在連續(xù)、封閉的惰性環(huán)境中進(jìn)行所有工作,他們能夠多次分析而保持敏感二維材料的完整性。專用于研究空氣敏感材料的手套箱互聯(lián)系統(tǒng)示意圖和實(shí)物圖01手套箱互聯(lián)系統(tǒng)的優(yōu)勢(shì)通常,敏感二維材料在分析時(shí)需要
  • 2025

    04-23

    飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的使用注意事項(xiàng)

    飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)結(jié)合了電子顯微鏡和能譜分析功能,可以觀察樣品的形貌并進(jìn)行元素的定性和定量分析;能夠提供高分辨率的圖像和準(zhǔn)確的成分分析結(jié)果,有助于揭示材料的微觀結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分;相對(duì)于大型電鏡設(shè)備來(lái)說(shuō),通常具有更簡(jiǎn)單的操作流程和更低的使用門檻。用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)快速掌握儀器的使用方法。飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域:1.材料科學(xué):用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)、相組成、元素分布等。例如,可以觀察金屬材料的晶粒尺寸、形狀和取向,以及合金中的第二相析出;也可以分析陶瓷材料的微觀形貌和成分變化。2.冶
  • 2025

    04-17

    飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)的主要組成部分

    飛納臺(tái)式電鏡能譜一體機(jī)是一種分析儀器,它將掃描電子顯微鏡(SEM)與能量色散X射線光譜儀(EDS)集成在一起,能夠在微觀尺度上對(duì)材料進(jìn)行形貌觀察和成分分析。1.掃描電子顯微鏡(SEM):利用聚焦的電子束掃描樣品表面,激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號(hào),通過(guò)探測(cè)器收集這些信號(hào)并轉(zhuǎn)換為圖像,從而獲得樣品表面的形貌信息。電子束斑越小,分辨率越高,能夠觀察到更細(xì)微的表面細(xì)節(jié)。2.能量色散X射線光譜儀(EDS):當(dāng)高能電子束或X射線激發(fā)樣品中的元素時(shí),元素會(huì)發(fā)射出具有特定能量的X射線。EDS通過(guò)探
  • 2025

    04-08

    超薄 TEM 制樣新范式|Gentle Mill 離子精修儀賦能優(yōu)質(zhì)數(shù)據(jù)

    在材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域,精確制備高質(zhì)量的透射電子顯微鏡(TEM)和掃描透射電子顯微鏡(STEM)樣品是實(shí)現(xiàn)原子級(jí)分辨率成像和分析的關(guān)鍵。TechnoorgLinda公司生產(chǎn)的GentleMill離子精修儀以低能量離子束技術(shù),為科研人員提供了一種高效、清潔的樣品精修解決方案,廣泛應(yīng)用于各種材料的微觀結(jié)構(gòu)和性能研究。本文精選了11篇使用GentleMill離子精修儀發(fā)表的文獻(xiàn)期刊(排名不分先后),展示了該設(shè)備在材料科學(xué)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用和顯著成就。01.鈣釕氧化物超薄膜中異常尺寸效應(yīng)的增強(qiáng)關(guān)鍵詞:超常
  • 2025

    03-31

    飛納掃描電鏡的使用注意事項(xiàng)

    飛納掃描電鏡主要用于樣品的形貌表征、顆粒分析、紋理觀察等,被廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子、納米顆粒、生物醫(yī)學(xué)、紡織纖維、地質(zhì)科學(xué)以及電子半導(dǎo)體、金屬材料、鋰電池新能源材料、生命科學(xué)、高分子材料、人文、建筑、功能材料與新材料、工業(yè)制造等多個(gè)領(lǐng)域。在使用飛納掃描電鏡過(guò)程中需要注意以下事項(xiàng):1、樣品必須足夠干燥且粘牢在樣品臺(tái)上。2、在放入艙門前,必須用高壓氣體吹凈清理樣品臺(tái)表面。3、載物臺(tái)必須旋至低于樣品杯外緣兩毫米,方可放入艙門。4、艙門鎖亮綠燈開鎖,方可打開艙門。5、記錄拍照順序和放大倍數(shù),便于后期圖
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