*蘇州生物醫學工程技術研究所醫用微納技術研究室以生物傳感技術為重點，以微機電系統(MEMS)技術為手段,積極探索微量、低成本、高靈敏度生物檢測各種前沿方法。先后承擔過中科院創新項目、江蘇省科技支撐工業類項目等多個研究項目，正在籌建300多平方米超凈環境，將引進納米光刻、噴膠、多層鍵合、兆聲清洗等上*的MEMS工藝設備，將開展LIGA和體硅工藝技術。目前開展了微型光譜儀、聲波傳感器、光纖傳感器、納米技術等方面的研究工作，并取得了多項具有自主知識產權的創新性研究成果。