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與使用空氣源相比，氧氣源臭氧發生器的臭氧功能發生很大變化。

1.氧源可使臭氧出口濃度提高8~10倍。空氣源臭氧發生管出口濃度為9~11毫克/升，低于1毫克/升。有氧氣時，出口濃度可達80~130毫克/升。

2.氧源大大提高臭氧滅菌或氧化能力。高濃度氧氣產生高濃度臭氧。從而大大提高臭氧滅菌或氧化能力。一些細菌和病毒用空氣源臭氧很難殺死，但用氧源臭氧很容易殺死。有些化合物只能用氧源臭氧氧化。

3.氧源可以增加臭氧產生3~5倍。與空氣源臭氧發生器相比，氧源臭氧發生器的產量提高了3~5倍。臭氧發生管的利用效率大大提高。

4.氧源不受氮化物污染。臭氧管使用空氣源時，由于空氣中含有78%的氮氣，產生臭氧時會有氮化物。采用氧源避免氮化物的產生。

5.氧源系統體積小。臭氧發生器采用空氣源，氣體預處理結構復雜，比氧源臭氧發生器至少大3倍，功耗也相應增加，進而導致成本和維護成本增加。使用氧源臭氧發生器的優點氧氣發生器用于提供氧氣，因此臭氧濃度大大提高，綜合成本大大降低。