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預(yù)算335萬 上海交通大學采購感應(yīng)耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)
2023年11月25日 10:02:22
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：6739
近日，上海交通大學就“感應(yīng)耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)采購項目（項目編號：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號：招設(shè)2023A00204）”發(fā)布招標公告，預(yù)算金額為335萬元。
【化工儀器網(wǎng) 市場商機】 感應(yīng)耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)是一種先進的薄膜制備技術(shù)。這種系統(tǒng)通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)的方式產(chǎn)生高密度等離子體，使得含有薄膜組成成分的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料的制備。該系統(tǒng)主要應(yīng)用于硅、III-V族化合物半導體、聚合物等襯底材料上，實現(xiàn)介質(zhì)薄膜(包括氧化硅、氮化硅等)和非晶態(tài)碳化硅等多種薄膜材料的制備。
近日，上海交通大學就“感應(yīng)耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)采購項目(項目編號：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號：招設(shè)2023A00204)”發(fā)布招標公告，預(yù)算金額為335萬元。該招標項目的潛在投標人應(yīng)在上海市四平路200號盛泰國際大廈606室獲取招標文件，并于2023年12月15日 09點30分(北京時間)前遞交投標文件。
項目基本情況
項目編號：0773-2341SHHW0110/校內(nèi)編號：招設(shè)2023A00204
項目名稱：上海交通大學感應(yīng)耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
預(yù)算金額：335.000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：335.000000 萬元(人民幣)
采購需求：
項目概況：該設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
采購需求：
設(shè)備名稱：感應(yīng)耦合等離子體增強化學氣相沉積系統(tǒng)(ICPECVD)
數(shù)量：1套
簡要技術(shù)參數(shù)：2.1 反應(yīng)腔室：2.1.1 由整塊鋁錠加工制成、無焊縫、低漏率。側(cè)壁帶加熱功能。★2.1.2 樣品尺寸：最大8英寸直徑晶圓、向下兼容更小的晶圓片或不規(guī)則碎片；不同尺寸樣片之間的切換、無需反應(yīng)腔室的開腔破真空。其余詳見“第八章 貨物需求一覽表及技術(shù)規(guī)格”
設(shè)備用途：該設(shè)備通過感應(yīng)耦合等離子體(ICP)方式產(chǎn)生高密度等離子體，在硅及化合物半導體等襯底上沉積高質(zhì)量的介質(zhì)薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。
交貨期：簽訂合同后11個月內(nèi)
交付地點：上海交通大學用戶指定地點
合同履行期限：簽訂合同后11個月內(nèi)
本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。
申請人的資格要求：
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本項目為機電產(chǎn)品國際招標項目，相關(guān)法規(guī)與政策均按照《機電產(chǎn)品國際招標投標實施辦法(試行)》執(zhí)行。
3.本項目的特定資格要求：1)投標人為制造商時，須提供制造商資格聲明函(見格式 IV-9-2)；投標人為代理商時，須提供資格聲明函(見格式 IV-9-3)及制造商提供的針對本項目的授權(quán)書(見格式 IV-9-4)；2)投標人開戶銀行在開標日前三個月內(nèi)開具的資信證明原件或復(fù)印件；3)投標人須在投標截止期之前在國家商務(wù)部指定的機電產(chǎn)品招標投標電子交易平臺(以下簡稱機電產(chǎn)品交易平臺)上完成有效注冊；4)不接受聯(lián)合體投標。
獲取招標文件
時間：2023年11月24日 至 2023年12月01日，每天上午9:00至12:30，下午12:30至17:00。(北京時間，法定節(jié)假日除外)
地點：上海市四平路200號盛泰國際大廈606室
方式：(1)投標人報名時須先登錄“上海交通大學數(shù)字化采購平臺” 供應(yīng)商注冊進行網(wǎng)上注冊并實名認證。(2)注冊轉(zhuǎn)賬之后，請務(wù)必發(fā)郵件說明。郵件主題包含：投標人名稱+項目編號+項目名稱，郵件附件包含：網(wǎng)上轉(zhuǎn)賬憑證。發(fā)送至zjzb2022@126.com。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2023年12月15日 09點30分(北京時間)
開標時間：2023年12月15日 09點30分(北京時間)
地點：上海市四平路200號盛泰國際大廈606室
公告期限
自本公告發(fā)布之日起5個工作日。
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