IWAKI易威奇 空氣驅(qū)動點(diǎn)膠機(jī) SB 系列

IWAKI易威奇 空氣驅(qū)動點(diǎn)膠機(jī) SB 系列

空氣驅(qū)動點(diǎn)膠機(jī) SB 系列

非常適合半導(dǎo)體制造工藝中的光刻膠涂層

SB 系列的特點(diǎn)

高精度

我們高精度地測量和分配光刻膠和其他化學(xué)溶液。 為了優(yōu)化光刻膠滴落量，提高了每次噴射的分配精度，并安裝了回吸器（可選）以防止光刻膠從排放端脫落。

波紋管內(nèi)部的死體積極小，其結(jié)構(gòu)可防止液體停滯。 無密封結(jié)構(gòu)和低速氣缸的使用可實(shí)現(xiàn)光刻膠的低速注入并防止空氣進(jìn)入光刻膠。

輕巧緊湊的設(shè)計

泵可以垂直或水平方式安裝（SB-4K/5/6 除外），并且可以選擇系統(tǒng)集成的最佳形狀。 緊湊的設(shè)計還為外圍設(shè)備騰出了空間。

此外，還提供帶有機(jī)械擋塊的氣缸，該氣缸可通過單個泵控制細(xì)微的吐出量，以及帶有傳感器的氣缸，可以可靠地檢查運(yùn)行情況。

不銹鋼和含氟聚合物

不銹鋼 （SUS304） 和含氟聚合物 （PTFE， PFA） 類型可作為接液材料提供。 它具有出色的耐腐蝕性，不會污染液體，并且對于高分辨率、高純度光刻膠等液體質(zhì)量控制是安全的。

氣動波紋管泵

超潔凈規(guī)格，在半導(dǎo)體制造工藝方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。

開發(fā)的波紋管使用壽命長，有助于減少停機(jī)時間。

專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計的氣動波紋管泵。 自成立以來的 30 多年里，IWAKI 始終響應(yīng)市場需求并積極開發(fā)新產(chǎn)品。 這些產(chǎn)品的質(zhì)量和性能受到世界各地設(shè)備和晶圓制造商的高度評價。

除了泵之外，控制器和阻尼器以及化學(xué)品補(bǔ)充泵系統(tǒng)等外圍設(shè)備也進(jìn)行了標(biāo)準(zhǔn)化。 憑借更廣泛的產(chǎn)品陣容，我們可以處理廣泛的應(yīng)用，包括濕式清洗工藝、化學(xué)品供應(yīng)設(shè)備和 CMP 工藝。

氣動波紋管泵的特點(diǎn)

波紋管設(shè)計，使用壽命長

含氟聚合物的無污染設(shè)計，對所有接液部件具有出色的耐化學(xué)性和耐熱性

泵頭和波紋管采用一體式焊接結(jié)構(gòu)，無需擔(dān)心液體泄漏。

主要應(yīng)用

向清洗設(shè)備供應(yīng)化學(xué)品 晶圓清洗液的循環(huán) CMP 漿料溶液的供應(yīng)