德國徠卡顯微系統(tǒng)公司專業(yè)生產(chǎn)：DVM5000HD高清光學(xué)數(shù)碼顯微鏡，DVM2500實(shí)時(shí)動態(tài)三維光學(xué)數(shù)碼顯微鏡，DM8000M，DM12000M晶圓檢查顯微鏡，F(xiàn)PD,COG，導(dǎo)電粒子檢查顯微鏡，DM8000M-UV,DM12000MUV OLED檢查顯微鏡，DM系列CD測量設(shè)備，DM系列鑄造合金孔隙率檢測顯微鏡。

       德國LEICA 徠卡晶圓和FPD檢查顯微鏡LEICA DM8000M LEICA DM12000M  是經(jīng)典的INM100,INM200,INM300顯微鏡的較早換代產(chǎn)品  產(chǎn)品特性● 0.7倍高級宏觀物鏡視野達(dá)到40毫米● 徠卡的立體斜照明，可以快速檢查晶圓表面的微小裂紋 ●所有物鏡均帶電子CODE,可被軟件自動識別，刻度尺自動伸縮，無需自選● 徠卡的超級暗場術(shù)背景更黑缺陷一目了然 ● UV高分辨率，可以快速直接觀察到120納米的線條 ●立體UV觀察，可以對凸塊，溝槽側(cè)壁清晰地觀察 ●大型載物臺搭載：可用于400*300mm液晶基板，300mm晶圓全面檢查(DM12000M)● 采用高NA的透射光聚光鏡，圖象更銳利● 多種觀察方式，多種照明方式，多種附件以滿足不同應(yīng)用要求● 透射和反射照明可同時(shí)使用，*提高液晶基板觀察效果LEICA DM8000M LEICA DM12000M 產(chǎn)品特點(diǎn)縮短檢查用時(shí)，提高檢查效率自動聚焦附件透射光檢查照明*的自動聚焦附件可配合所有的反射光照明觀察方式，甚至包括暗視場和微分干涉相襯觀察。實(shí)現(xiàn)快速和精確的自動對焦，甚至觀察方式轉(zhuǎn)換時(shí)也能實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的找到焦面。兩種照明裝置可選，通用型及高數(shù)值孔徑型。為FPD，MASK板檢查提供合適的照明，并且可配備起偏鏡，實(shí)現(xiàn)投射光簡易偏光觀察。高反差，更高分辨率，更高倍率檢查用于光刻膠殘留檢查的熒光觀察方式熒光分光鏡模塊 UV光學(xué)系統(tǒng)可以提供更高的反差和分辨率，分辨率可達(dá)0.12μm。備有U.B.G等多種熒光方式可選，用于光顆膠殘留以及OLED檢查。方便的通訊接口用于顯微鏡倍率和孔徑光闌的控制和參數(shù)獲得 RS232C用于晶圓以及器件，甚至焊腳的內(nèi)部檢查近紅外線觀察附件標(biāo)配包括一個(gè)RS232C接口，使得用PC控制顯微鏡電動部分成為可能，并且可以實(shí)現(xiàn)使工藝線上的幾臺顯微鏡都在同樣的設(shè)定狀態(tài)下工作。包括專門的紅外物鏡等附件，對從可見光到近紅外波段光線的像差做矯正，用于IC深層或內(nèi)部檢查，可實(shí)現(xiàn)對WAFER BUMP的全面檢查自動線寬CD測量附件以亞像素技術(shù)實(shí)現(xiàn)高度精確的CD測量，OVERLAY測量，套刻測量

     作為世界Z*的光學(xué)儀器廠家，160年來徠卡公司推出了世界*的LEICA金相顯微鏡，工業(yè)顯微鏡，偏光顯微鏡，立體顯微鏡，體視顯微鏡，實(shí)體顯微鏡，測量顯微鏡，圖像分析系統(tǒng)，工業(yè)切片機(jī)，工業(yè)檢測系統(tǒng)。  將光學(xué)技術(shù),電子技術(shù),自動化技術(shù)和軟件技術(shù)結(jié)合起來,德國徠卡能為電子行業(yè)，汽車行業(yè)，材料行業(yè)的特定檢測需求提供更加專業(yè)的解決方案。