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遷移率少子壽命測試儀

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公司成立于2021年,是一家注冊在蘇州、具備技術的非接觸式半導體檢測分析設備制造商。公司集研發、設計、制造、銷售于一體,主要攻克國外壟斷技術,替代進口產品,使半導體材料測試設備國產化。

主要產品:非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀、方阻測試儀、硅片電阻率測試儀、渦流法高低電阻率分析儀、晶錠電阻率分析儀、渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀、遷移率(霍爾)測試儀、少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀、表面光電壓儀JPV\SPV、汞CV、ECV。碳化硅、硅片、氮化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案

憑借*的技術和豐富的產品設計經驗申請各項知識產權20余項,已發展成為中國大陸少數具有一定國際競爭力的半導體專用設備提供商,產品得到眾多國內外主流半導體廠商的認可,并取得良好的市場口碑。





晶圓電阻率測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,遷移率測試儀,少子壽命測試儀

遷移率少子壽命測試儀特點:

測試范圍廣:包括硅塊、硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅片等的少子壽命及鍺單晶的少子壽命測量。

■主要應用于硅棒、硅芯、檢磷棒、檢硼棒、籽晶、硅塊、硅片的進廠、出廠檢查,生產工藝過程中重金屬沾污和缺陷的監控等。

■適用于低阻硅料少子壽命的測量,電阻率測量范圍可達ρ>0.1Ω?cm(可擴展至0.01Ω?cm),完了微波光電導無法檢測低阻單晶硅的問題。

■全程監控動態測試過程,避免了微波光電導(u-PCD)無法觀測晶體硅陷阱效應,表面復合效應缺陷的問題。

■貫穿深度大,達500微米,相比微波光電導的30微米的貫穿深度,真正體現了少子的體壽命的測量,避免了表面復合效應的干擾。

■專業定制樣品架地滿足了原生多晶硅料生產企業測試多種形狀的硅材料少子壽命的要求,包括硅芯、檢磷棒、檢硼棒等。

遷移率少子壽命測試儀性價比高,價格遠低于國外國外少子壽命測試儀產品,極大程度地降低了企業的測試成本。



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