中圖儀器激光干涉儀sj6000配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構成，可滿足0~80m范圍內的線性測量。

性能特點

集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；

采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；

采用高速干涉信號采集、調理及細分技術，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；

采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；

采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。

激光干涉儀sj6000具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

線性測量

機床垂直度

在動態(tài)測量軟件配合下，sj6000激光干涉儀還可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

自動化設備精度測量

回轉軸精度測量

技術參數(shù)

產品型號：SJ6000

產品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態(tài)采集頻率：50KHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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