SJ6000國產(chǎn)激光干涉測量儀除了環(huán)境適應(yīng)能力好，還可以進行動態(tài)高速測量，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。

特點

1.精度高

以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗擾力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2.功能廣

可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設(shè)備其導軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；

可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

支持手動或自動進行環(huán)境補償。

3.軟件強

友好的人機界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊；

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簡潔化的記錄管理；

支持中文、英文和俄文界面；

支持企業(yè)專屬模板定制。

測量機床直角

如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標測量機等），SJ6000國產(chǎn)激光干涉測量儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

測量機床垂直度

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m