| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 生物產業,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
|---|
HF-5-10高負載平臺的行程為10mm，重量為145g。
| 概觀 | |
|---|---|
| 自由度 | 1 |
| 行程[mm] | 10 |
| 最大升力[N] | 5 |
| 初始尺寸[mm] | 54 x 25 x 42 |
| 重量[g] | 145 |
| 定位性能 | |
| 開環最大速度[mm/s] | 2 |
| 開環定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環定位分辨率[nm] | 2 |
| 閉環重定位精度[nm] | ±60 |
| 選配 | |
| 材質 | 標配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據要求定制 |
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