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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>納米壓印設備> GL SR300 300mm步進式納米壓印光刻/拼版設備

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GL SR300 300mm步進式納米壓印光刻/拼版設備

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青島天仁微納科技有限責任公司成立于2015年,是引新的納米壓印設備和解決方案提供商。公司的核心競爭力是為客戶提供納米壓印整體解決方案。產品與服務涵蓋納米壓印相關的設備、模具、材料、工藝以及生產咨詢服務。我們致力于拓展納米壓印技術在創新產品領域的應用,例如發光二極管(LEDs)、微納機電系統(MEMs/NEMs)、虛擬現實和增強現實光波導(AR Waveguides)、3D傳感、生物芯片、顯示以及太陽能等。

微納加工設備,配套材料,配套產品,相關領域的技術咨詢服務

GL SR300 300mm步進式納米壓印光刻/拼版設備是一種步進式紫外納米壓印設備,可以在300mm尺寸基底上加工精度優于20納米的三維結構,還可以用于將小面積納米壓印模具通過步進式壓印拼接成大面積壓印母模具。

GL SR300是一種步進式紫外納米壓印設備,可以在300mm尺寸基底上加工精度優于20納米的三維結構,還可以用于將小面積納米壓印模具通過步進式壓印拼接成大面積壓印母模具。

通常納米壓印模具的加工需要利用的電子束或者激光直寫技術、刻蝕技術等,加工大面積納米壓印母模具成本極其高昂,技術可行性很低。通過GL SR300步進式納米壓印技術可以將小面積納米壓印模具拼接成大面積納米壓印母模具,然后從大面積母模具可以復制大面積工作模具,用來進行大幅面壓印。這種方式可以大大降低納米壓印模具成本,使得低成本納米壓印生產成為可能。


主要功能

●300mm步進式紫外納米壓印
●支持從微透鏡復制到整面微透鏡陣列模具,用做晶圓級光學加工母模具
●支持從小面積高精度納米結構模具復制到大幅面模具,用作CLIV全副面壓印母模具
●支持各種模具材質與形狀
●支持旋涂壓印膠基底步進式壓印復制,適用于高精度納米結構模具拼接
●設備自帶點膠裝置,支持點膠步進式壓印復制,適用于微透鏡陣列等晶圓級光學結構模具拼接
●標配高功率紫外LED面光源(365nm,光強>200mW/cm2 ),水冷冷卻,特殊功率以及特殊、混合波長光源可訂制,支持各種商用納米壓印材料
●標配設備內部潔凈環境與除靜電裝置
●高精度閉環控制位移平臺,定位精度優于1μm

設備照片

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GL SR300 300mm步進式納米壓印光刻/拼版設備相關參數

兼容基底尺寸<300mm方形
支持基底材料硅片、玻璃、石英、塑料、金屬等
納米壓印技術步進式納米壓印
壓印精度優于20納米*
結構深寬比優于10比1*
殘余層控制可小于10nm*
紫外固化光源紫外LED(365nm)面光源,光強>1000mW/cm2,水冷冷卻(2000mW/cm2類型光源可選配)
設備內部環境控制標配,外部環境Class 100,內部環境可達Class 10
自動壓印支持
自動脫模

支持

自動工作模具復制

支持

自動點膠

選配

單次壓印面積

50x50mm

定位精度

優于1μm





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