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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法腐蝕/刻蝕設備>NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機

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NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述

NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機,可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕。

2. 設備用途/原理

NMC 612G 12英寸金屬刻蝕機可用于鋁、硅,氧化物、鉬、氧化銦錫等多種材料刻蝕高性能靜電卡盤,可用于 Si wafer 及玻璃片穩定吸附設備提供多種均勻性調節手段本土化服務及定制化軟件配置能力

3. 設備特點

晶圓尺寸 12英寸適用材料 鋁、硅、氧化物、鉬、氧化銦錫適用工藝 鋁線、鋁墊、硅、介質刻蝕、鋁 / 鉬 /ITO 等金屬刻蝕適用域 新興應用、集成電路百科:?半導體金屬刻蝕機的原理?主要涉及到濕法刻蝕和干法刻蝕兩種技術。這兩種技術都是半導體制造工藝中非常重要的步驟,用于有選擇地從硅片表面去除不需要的材料,以達到在涂膠的硅片上正確地復制掩模圖形的目的。



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