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無金屬污染循環式臭氧水生成裝置采用循環方式存水?棄水非常少濃度上升快(1分鐘內生成臭氧水)根據清洗工藝可生成穏定濃度流量的臭氧水 無金屬汚染臭氧水采用自主研発技術，生成適用於半導體清洗的臭氧水小型化?重量輕?無需冷卻水外形尺寸611W×590D×1317H, 重量約87kg搭載散熱器

無金屬污染循環式臭氧水生成裝置臭氧発生方式無聲放電法冷卻方式 空冷溶解法 射流方式臭氧水濃度測定 內蔵 紫外線式臭氧水濃度計臭氧水濃度 MAX 60ppm MAX 80ppm臭氧水水流量 MAX 7L/min MAX 50L/min外寸 611W×590D×1317H -重量 87Kg -消費電力 1kW -原料氧氣條件 圧力0.3MPa 純度99.5％（添加CO2或者N2)原料水條件 超純水?純水?市水 0.25MPa原料水溫度 25℃以下互鎖關系 漏水, 內部圧力異常, 臭氧泄漏,臭氧発生器異常