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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐> 全自動快速退火爐

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全自動快速退火爐

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  武漢賽斯特精密儀器有限公司是武漢市專業研發,以力學試驗機儀器為主,同時銷售各種、中低端分析儀器?,F有員工60多人,公司成功開發了PCI放大采集卡和中文版試驗軟件,并采用全數字化,操作簡捷,*符合GB、ISO、JIS、ASTM、DIN等標準、國家標準、行業標準的要求,公司亦通過了ISO9001質量體系認證和國家計量體系認證,榮獲了“武漢市第九界消費者滿意單位”的稱號。
  產品廣泛應用于電子、高校、政府研究機構、環保機構、石油化工、紡織制造、第三方檢測機構、*別研究院、新能源、集成電路、芯片、封裝測試、半導體行業、顯示器領域、光電材料、鋰電池、機械生產等領域。并與武漢理工大學、華中科技大學等建立了長期合作,每年投入大量研究經費,招攬各方優秀的技術人才加盟突破國內技術壁壘,不斷攻克新的技術難題,另外公司還積極拓展海外業務,產品遠銷越南,印度,埃及等國家和地區。
  本著“專業品質,專業服務”為宗旨,以“科技、品質、競爭、創新”為理念,通過不斷汲取新的技術,新的理念,繼續開發研制新產品,并為廣大客戶提供優質的售前,售中,售后服務。熱烈歡迎廣大新老朋友業函,來電,蒞臨我公司參觀指導!


 

實驗室檢測儀器,測試儀器設備等

產品特點:

紅外鹵素燈管加熱 ,冷卻采用風冷

燈管功率 PID 控溫,可精準控制溫度升溫 ,保證良好的重現性與溫度均勻性

大氣與真空處理方式均可選擇,進氣前氣體凈化處理

標配兩組工藝氣體,最多可擴展至 6 組工藝氣

采用平行氣路進氣方式,氣體的進入口設置在 Wafer 表面,避免退火過程中冷點產生,保證產品良好 的溫度均勻性

技術參數:

大產品尺寸最大處理 200×200mm,兼容8寸,及8寸以下wafe

腔體數量:單腔

腔體溫度監控:<70℃

溫度范圍:室溫~1250℃

溫度控制重復性:±2℃

恒溫持續時間:可依據要求編程

控溫區域:多組控溫區域,保證恒溫區溫度穩定性

抽氣速率:500SLM

漏率:30mTorr/min

SCR 控溫區域:16 組控溫區

降溫速度:約 200℃/min(1000~400℃) 不可編程

持溫時間:可依據制程需求設定持溫時間

燈管電流精度:≤±0.1amp

燈管:平均 1500 小時以上使用壽命,上下兩面同時加熱


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