ART130SZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-Z向單軸
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 無錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:35:20
- 訪問次數(shù) 69
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣 |
ART130SZ系列 直線電機(jī)機(jī)械臺-Z向單軸是納米級定位精度的垂直運(yùn)動平臺，直線電機(jī)驅(qū)動，采用交叉滾柱導(dǎo)軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達(dá)100Hz以上。
ART130SZ系列平臺采用超薄設(shè)計，能有效節(jié)省安裝空間，是ART130系列水平運(yùn)動納米運(yùn)動臺的有效補(bǔ)充，雙氣缸平衡設(shè)計，通過氣缸平衡負(fù)載重量，能有效避免電機(jī)長時間工作發(fā)熱現(xiàn)象，具備高剛性和高可靠性。
ART130SZ系列平臺雖然結(jié)構(gòu)緊湊但是有較強(qiáng)的驅(qū)動能力，速度可達(dá)500mm/s，空載加速度可達(dá)1g。配置線性放大器，帶隔振實驗室環(huán)境下，ART130SZ系列平臺的在位穩(wěn)定性3nm和最小步進(jìn)量可以小于5nm，主要應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的光纖耦合、半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓缺陷檢測、生物醫(yī)療領(lǐng)域的基因測序以及激光微納加工等，可以根據(jù)客戶的應(yīng)用提供靈活的定制方案。
ART130SZ系列平臺最小步進(jìn)和在位穩(wěn)定性測試
5nm最小步進(jìn)（ASH反饋選項，配置線性放大器）
<3nm在位穩(wěn)定性（ASH反饋選項，配置線性放大器）
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