ART130XY系列 直線電機機械臺
- 公司名稱 無錫地心科技有限公司
- 品牌 地心科技
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 16:34:50
- 訪問次數 41
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產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
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價格區間 | 面議 | 應用領域 | 化工,生物產業,電子/電池,電氣,綜合 |
ART130XY系列是納米級定位精度的XY一體式運動平臺,直線電機驅動,采用交叉滾柱導軌,具備非常優秀的動態性能和定位精度,空載截止頻率可達100Hz以上。它采用XY一體式設計,具有低側面高度、阿貝誤差小的特點,XY行程可以根據客戶需求定制,可作為二維運動平臺單獨使用,也可以與ART130LZ、ART130-5V升降臺或者RSML系列轉臺搭配使用,組成不同的多軸配置來滿足客戶應用。
ART130XY系列平臺雖然結構緊湊但是有較強的驅動能力,速度可達500mm/s,空載加速度可達1g。配置線性放大器,帶隔振實驗室環境下,ART130XY系列平臺的在位穩定性3nm和最小步進量可以小于5nm,主要應用于通訊領域的光纖耦合、半導體領域的晶圓缺陷檢測、生物醫療領域的基因測序以及激光微納加工等,可以根據客戶的應用提供靈活的定制方案。
精巧的結構設計保證了ART130XY系列平臺出色的精度和動態性能,特別是在速度穩定性要求苛刻的應用中,它的優異性能得到了很好的體現,例如在掃描檢測應用中,要求直線軸勻速20mm/s,運動距離130mm,ART130XY系列平臺勻速段動態跟隨誤差<±100nm,能出色的完成項目任務。
ART130XY系列平臺最小步進和在位穩定性測試
5nm最小步進(ASH反饋選項,配置線性放大器)
<3nm在位穩定性(ASH反饋選項,配置線性放大器)