Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀（SAS）

Fastmicro 儀器表面顆粒物分析儀，是一款基于“膠帶粘取”采樣技術(shù)的表面污染檢測(cè)工具，可通過(guò)間接測(cè)量方式識(shí)別小至 0.5um 的顆粒污染物。其配備的專(zhuān)用 PMC 采樣卡能在各類(lèi)表面（包括難以觸及區(qū)域和高粗糙度表面）實(shí)現(xiàn)靈活采樣，且不會(huì)殘留可檢測(cè)的痕跡。該設(shè)備可在數(shù)秒內(nèi)完成 225 mm2 采樣區(qū)域的分析，確保快速獲得精準(zhǔn)檢測(cè)結(jié)果。搭配 2 英寸晶圓支架，也可對(duì)沉降顆粒進(jìn)行檢測(cè)，滿足跨行業(yè)復(fù)雜場(chǎng)景的檢測(cè)需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 符合 ISO 14644-9 標(biāo)準(zhǔn)：在用戶界面生成具有認(rèn)證的 PDF 報(bào)告

• 檢測(cè)范圍：可檢測(cè)低至 0.5 um 顆粒

• 穩(wěn)定：90% 采集效率 | >90% 重復(fù)性

• 快速：10 秒完成檢測(cè)

數(shù)秒內(nèi)完成表面清潔度測(cè)量

快速: 成像僅需數(shù)秒

定量: 可溯源的定量化結(jié)果

操作簡(jiǎn)便: 操作結(jié)果不受操作人員影響

• 用于產(chǎn)線質(zhì)量管控的即時(shí)判定

• 用于研發(fā)人員的進(jìn)一步數(shù)據(jù)分析

• 用于監(jiān)測(cè)、快速驗(yàn)證和統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制 

精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量（數(shù)量、位置、尺寸） 

穩(wěn)定: 多次測(cè)量結(jié)果高重復(fù)性 

高通量: 即時(shí)給出合格/不合格結(jié)果

儀器表面顆粒物分析儀（SAS）

該系該儀器通過(guò)采樣器間接測(cè)量表面顆粒污染水平。使用采樣器方便 用戶隨時(shí)在各種產(chǎn)品和組件上采集顆粒污染樣本。

使用采樣器進(jìn)行間接測(cè)量

使用采樣器甚至能對(duì)難以觸及的地方以及相對(duì)粗糙的表面進(jìn)行可 靠測(cè)量。采樣器（來(lái)自經(jīng)過(guò)認(rèn)證的供應(yīng)商）不會(huì)造成交叉污染。

分析儀能在數(shù)秒內(nèi)完成對(duì)采樣器的檢測(cè)，這使測(cè)試工作流程可控制 在一分鐘以內(nèi)。采樣器可放在采樣器支架中運(yùn)輸、重新測(cè)量和進(jìn)一 步分析。

具有多種采樣器選擇，包括用于間接檢測(cè)的粘取采樣器（含支架）和 用于落塵檢測(cè)的2英寸晶圓套件。

這種適應(yīng)性使其適用于跨多個(gè)行 業(yè)的不同測(cè)試場(chǎng)景，能提供可靠測(cè)量數(shù)據(jù)并深入洞察污染水平。