Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)
| 參考價(jià) | ￥ 100000 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/8/14 13:40:05
- 訪問次數(shù) 149
產(chǎn)品標(biāo)簽
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Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)未來將腔室直徑增加到 9″(230 mm)。腔室的深度增加到 13.4″(430 mm)。
清洗機(jī)足夠大，可以容納 8 英寸晶圓。它也足夠大的一個(gè)或兩個(gè) 25/50 插槽 6“或 4”石英晶圓船。可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。射頻功率的頻率為 13.56MHz，這提供了比 KHz 射頻等離子體系統(tǒng)高得多的等離子體產(chǎn)生效率。不僅可以調(diào)節(jié)射頻功率瓦數(shù)，還可以產(chǎn)生連續(xù)或脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%調(diào)整到小于 1%。石英腔室壁結(jié)構(gòu)使外部電容耦合射頻電極設(shè)計(jì)成為可能，從而在整個(gè)腔室中產(chǎn)生更均勻的等離子體。
規(guī)格和特點(diǎn)：
*Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)的應(yīng)用與較小的 Tergeo桌面等離子清洗機(jī)相似，不同之處在于它可以接受更大的樣品。以下是典型應(yīng)用的列表：
光致抗蝕劑灰化、除渣和硅晶片清洗
在引線鍵合、倒裝芯片封裝、PCB 封裝之前清潔芯片
生物醫(yī)用涂層前的表面處理及提高醫(yī)用植入物的親水性
環(huán)氧樹脂粘合前的光學(xué)、玻璃、光纖頭和基板清潔
PDMS、微流體、載玻片和芯片實(shí)驗(yàn)室
改善金屬對金屬或復(fù)合材料的粘合
改善塑料、聚合物和復(fù)合材料的粘合
產(chǎn)品特點(diǎn)：
大樣品室(ID：9″/230 mm，深度：13.4″ /340 mm)。足以容納 8 英寸晶圓，一個(gè)或兩個(gè) 25/50 插槽 6″/4″石英晶圓舟。
等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電與外部彎曲放電電極。
連續(xù)和脈沖等離子體。脈沖比可以從 100%(連續(xù))變?yōu)樾∮?1%。Tergeo 等離子體系統(tǒng)不僅可以通過 1 瓦的間隔調(diào)整射頻功率，而且可以產(chǎn)生連續(xù)和脈沖等離子體。使等離子體強(qiáng)度改變幾個(gè)數(shù)量級以上。
操作方式：自動(dòng)配方執(zhí)行、自動(dòng)作業(yè)順序執(zhí)行、手動(dòng)操作。
等離子體傳感器：等離子體強(qiáng)度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測等離子體狀態(tài)，并向用戶提供關(guān)于不同配方條件下等離子體強(qiáng)度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監(jiān)測等離子體灰化過程的進(jìn)展并用作終點(diǎn)指示器。等離子體強(qiáng)度實(shí)時(shí)顯示在 LCD 觸摸屏上。
先進(jìn)的過程控制功能：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC 氣體流量計(jì)、等離子體強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。
滅菌室設(shè)計(jì)：鋁法蘭和厚壁高純度石英管增強(qiáng)了耐化學(xué)性，減少了派熱克斯玻璃中的堿性雜質(zhì)(Ca、K、Na)。
樣品保持器：4mm 厚高純石英板，尺寸：220 mm X 280 mm。
腔體尺寸：內(nèi)徑：9″/230 mm;外徑：9. 44 ″/240 mm;深度：13. 4 ″/340 mm。
RF 電極：圍繞石英管纏繞的外部電容耦合 RF 電極。外部射頻電極設(shè)計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更大、更均勻的等離子體體積，并且還消除了與內(nèi)部金屬射頻電極設(shè)計(jì)相關(guān)的離子濺射和加熱問題。
射頻電源：13.56MHz 高頻射頻電源，具有自動(dòng)阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇：13.56MHz 時(shí)的 150 瓦、300 瓦和 500 瓦。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。13.56 與低效率、低成本的 KHz 電源相比，MHz 射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度要高得多。
氣體輸入：多達(dá)三個(gè) MFC 控制氣體輸入(0~ 100 sccm)。一個(gè)額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。1/4 英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。
用戶界面：7 英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，無需手寫筆。
食譜和工作支持：共有 20 個(gè)可定制的食譜。作業(yè)序列中最多三個(gè)清潔步驟。
要求：
交流輸入：110 V ~ 230 V 通用交流電源支持。
泵口：NW/KF 25。
抽真空速度：3.5 cfm 或更高。
真空泵的極限壓力：50 mTorr 或更低。
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