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ZK-GW50 高真空電動平臺

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高精科技有限責(zé)任公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、自動化控制等技術(shù)于一體的高科技自主研發(fā)企業(yè),一直服務(wù)于科研大專院校,根據(jù)不同客戶需求,研發(fā)配套軟硬件系統(tǒng)產(chǎn)品,涵蓋光學(xué)元器件、精密機(jī)械部件、自動控制、等大類通過長期的不懈努力、對光路搭建系統(tǒng)的工藝把控和對客戶的優(yōu)良服務(wù),在科研、大專院校、機(jī)械自動化等諸多領(lǐng)域成長為廠商。公司的長焦鏡頭,自動化機(jī)械控制臺、手動控制臺、高亮度光源等產(chǎn)品,產(chǎn)品注重模塊化,集成化,已形成量產(chǎn),規(guī)格全、提供長期穩(wěn)定的服務(wù)、同時提供定制服務(wù)。

目前主要產(chǎn)品:中空顯微掃描平臺    中空轉(zhuǎn)臺   直線電機(jī)平臺   電動旋轉(zhuǎn)臺    電動六維臺   六維調(diào)節(jié)平臺 六軸干涉儀調(diào)整架 六軸鏡架   手動升降臺    角度調(diào)節(jié)臺  方位調(diào)節(jié)臺   電動升降臺  三軸調(diào)節(jié)臺  XYZ調(diào)節(jié)臺    光學(xué)平臺 光學(xué)平板  拉伸平臺   傾斜臺   高真空電動平臺   真空平臺 光學(xué)平臺  面包板  電動角位臺 手動角位臺 長工作距物鏡 大數(shù)值孔徑物鏡




高分辨率位移臺,高精度手動位移臺,高精度手動升降臺,高精度手動弧形臺,高精度手動旋轉(zhuǎn)臺,高精度手動滑臺,高精度手動直線滑臺,高精度手動角位臺,高精度電動升降臺,高精度電動對位平臺

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 產(chǎn)品種類 電動
價格區(qū)間 8千-1.5萬 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合
  高真空電動平臺是專為惡劣真空環(huán)境設(shè)計的精密設(shè)備,其核心功能是為光學(xué)、半導(dǎo)體、航空航天等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)提供穩(wěn)定可靠的位移控制。該類平臺通過特殊材料與工藝處理,能夠在真空度低于特定閾值的環(huán)境中保持長期穩(wěn)定運(yùn)行,其技術(shù)特性涵蓋材料兼容性、驅(qū)動系統(tǒng)優(yōu)化及密封結(jié)構(gòu)設(shè)計三大維度。
  在材料選擇方面,平臺主體結(jié)構(gòu)通常采用不銹鋼或鋁合金鍍鎳工藝,這類材料在真空環(huán)境下具有極低的釋氣率,可避免污染真空腔體。關(guān)鍵傳動部件表面需進(jìn)行特殊處理,例如采用二硫化鉬干潤滑或DLC(類金剛石)涂層,既能降低摩擦系數(shù),又能防止?jié)櫥瑒]發(fā)產(chǎn)生污染。部分型號還會配備真空兼容的連接器與線纜,其絕緣層采用特氟隆等低釋氣材料,確保電氣信號傳輸?shù)姆€(wěn)定性。
  驅(qū)動系統(tǒng)的設(shè)計需兼顧精度與真空適應(yīng)性。傳統(tǒng)液壓驅(qū)動因存在油液揮發(fā)風(fēng)險,在高真空環(huán)境中已被電動驅(qū)動取代。主流方案采用步進(jìn)電機(jī)或無刷直流電機(jī),通過齒輪減速機(jī)構(gòu)與絲杠傳動實(shí)現(xiàn)位移控制。為消除電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生的微粒污染,部分機(jī)型會采用磁性流體密封或金屬波紋管密封技術(shù),將電機(jī)與真空腔體隔離。運(yùn)動控制精度可達(dá)微米級甚至亞微米級,通過可編程控制器實(shí)現(xiàn)多軸聯(lián)動,滿足復(fù)雜實(shí)驗(yàn)需求。
  密封結(jié)構(gòu)是決定平臺真空性能的關(guān)鍵。動態(tài)密封部位通常采用金屬波紋管或磁流體密封,靜態(tài)密封則依賴金屬墊片或真空膠圈。為防止材料放氣,平臺在組裝前需進(jìn)行高溫烘烤處理,通過真空烘烤去除表面吸附的水分與氣體分子。部分型號還配備冷阱裝置,用于捕獲殘余氣體分子,進(jìn)一步提升真空度。平臺結(jié)構(gòu)設(shè)計需避免內(nèi)部空腔,防止氣體滯留影響抽氣效率。
  在應(yīng)用場景中,高真空電動平臺常與光學(xué)導(dǎo)軌、轉(zhuǎn)臺等設(shè)備組成多軸運(yùn)動系統(tǒng),用于晶圓檢測、薄膜沉積、空間模擬實(shí)驗(yàn)等場景。其設(shè)計需兼顧機(jī)械剛性與熱穩(wěn)定性,例如采用低膨脹系數(shù)的殷鋼材料制作基座,或通過水冷系統(tǒng)控制溫度波動。隨著量子光學(xué)、深空探測等領(lǐng)域的快速發(fā)展,對平臺的環(huán)境適應(yīng)性提出更高要求,例如耐輻照版本可承受特定劑量的輻射照射,防輻射涂層可減少高能粒子對電子元件的損傷。
  此類平臺的技術(shù)發(fā)展始終圍繞真空環(huán)境適應(yīng)性展開,通過材料創(chuàng)新、驅(qū)動優(yōu)化與密封技術(shù)突破,持續(xù)推動著精密制造與基礎(chǔ)科研的邊界。未來隨著真空技術(shù)的進(jìn)步,其應(yīng)用領(lǐng)域?qū)⑦M(jìn)一步拓展至核聚變裝置、粒子加速器等惡劣環(huán)境。




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