SIMCO思美高 高效能的離子棒 5635 (M) 

SIMCO思美高 高效能的離子棒 5635 (M) 

MCO 思美高高效能離子棒 5635（M）是一款專為半導體等超潔凈制造工藝設計的靜電消除設備。它采用調制脈沖（MP）技術，能在快速消除靜電的同時，滿足低擺動電壓和精確平衡的要求，且無金屬外露，可避免金屬污染。相關介紹如下：

工作原理：利用 MP 技術，將高頻正弦波與調制脈沖相結合，以實現高離子輸出和輸送，可產生大量正負離子，中和物體表面靜電。

性能參數：輸入電壓：24VDC±10%。

輸出電壓：13.5kVp-p（最大），可調。

工作距離：距表面 150-1000mm，具體取決于應用和客戶規格。

頻率：默認設置為 5Hz，可在 1-33Hz 范圍內調整。

離子平衡：自動平衡系統，在棒的長度范圍內及一段時間內＜±20V（在受控環境中 24 英寸距離處測量）。

電離清潔度：符合 ISO 14644-12 清潔度（0.01µm 顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 1 級（0.1µm 顆粒）。

氣流：最大氣體壓力 45psi；通過 8mm 外徑的一觸式接頭，每個噴嘴為 1-3.5lpm（可選）。

產品特點：潔凈度高：采用超清潔單晶硅發射點，配合精確調整，可提供高潔凈度，滿足半導體等高精度工藝要求。

均勻性好：具有出色的橫向均勻性，可在整個離子棒長度上提供均勻的離子平衡。

安裝靈活：可安裝在距離晶圓 150mm 以內，能在靠近目標物體的位置工作，且可通過 DIP 開關設置電源級別，快速激活出廠設置，便于安裝和調試。

可空氣輔助：可選配空氣輔助功能，加速離子輸送，在更遠距離上實現更快的放電時間和更好的性能。

具備報警功能：有報警輸出信號，可與工具或設施監控系統通信，及時反饋設備運行狀態。