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DryMag 無液氦超導磁體系統

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上海麥科威半導體技術有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業的微納材料、半導體和微電子材料及器件研發儀器及設備的供應商,所銷售的儀器設備廣泛用于高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設立分公司和辦事處,快速響應客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導體技術有限公司主要銷售產品包括:  - 霍爾效應測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結爐;  - 電子束蒸發鍍膜機,熱蒸發鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統,等離子增強原子層沉積設備;  - 電化學C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統; - 光學膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統-PLD-納米壓印;-等離子清洗機、去膠機;-反應離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發機,化學沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業客戶:華為技術有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術, 安徽格恩半導體, 蘇州稀晶半導體科技, 矽品半導體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(常州),偉創力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學, 汕頭大學, 南方醫科大學, 清華大學, 北京大學, 復旦大學, 西北工業大學, 南京醫科大學, 香港中文大學, 香港城市大學, 蘇州大學, 深圳職業技術學院, 南京大學合肥國家試驗室, 上海交通大學醫學院, 華南理工大學,華東師范大學,江南大學,重慶26所, 深圳大學, 南方科技大學, 深圳技術大學, 理化技術研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學, 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農業協同創新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導體設備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

Janis DryMag超導磁體在不使用液氦的情況下提供強磁場和低溫環境。樣品在整個溫度范圍內由靜態氦氣熱交換氣體冷卻,可將固體、粉末、液體和形狀不規則的樣品均勻冷卻至1.5 K。銅樣品腔和樣品座上的加熱器和溫度計與雙通道控溫儀一起使用,用于快速和精確的樣品溫度控制。


DryMag超導磁體可以配備電學測試接頭和布線,非常適合用于研究材料的電子特性。輸運測量包集成了Lake Shore MeasureLINK軟件、M81-SSM同步源測量系統和M91 FastHall控制器,用于交鑰匙自動化磁電測量。


主要特征:


?  溫度范圍:1.5 K ~ 300 K(420 K可選)

?  垂直磁場最大12 T,水平磁場最大7 T

?  Top-Loading插桿,樣品處于靜態氦氣中

?  適用于液體、粉末及不規則形狀樣品的均勻冷卻

?  光學窗口可選

?  可選配完整測量選件,M81同步源電輸運測試、M91快速霍爾測試等


DryMag磁體系統基本參數


運行溫度范圍

<1.5 K ~ 300 K (高溫420 K可選)

初始降溫時間

~24小時

溫度穩定性

±50 mK

樣品更換時間

90 min

制冷機建議維護時間

10000 h(GM)或20000 h(脈管)

磁體選項

最大磁場

7 T 劈裂式(光學或水平磁場), 7 T, 9 T 或 12 T 螺線管

最高溫度選項


300 K

標準

420 K

雙通道都滿足(在非光學磁體中)

420 K

只有樣品位置處滿足(在光學磁體中)

光學窗口選項


底部光學窗口

兼容螺線管磁體

水平光學窗口

兼容7 T劈裂式磁體

系統選件


單軸旋轉樣品桿

垂直軸標準

雙軸旋轉樣品桿

允許樣品沿著垂直軸和水平軸旋轉

樣品真空測試選件


He3插件

300 mK





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