等離子濺射蒸發二合一鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 CYKY
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/30 19:10:34
- 訪問次數 72
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磁控濺射鍍膜儀,熱蒸發鍍膜儀,勻膠機旋涂儀,熔煉爐,涂布機,放電等離子燒結爐,靜電紡絲機,金剛石線切割機,RTP退火爐,晶體生長爐,管式爐,CVD氣相沉積,氣氛爐,馬弗爐,熱解噴涂,等離子清洗機,
本產品為二合一鍍膜儀,可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。設備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。
設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。真空室采用上中下結構,樣品臺與靶的距離靈活可調。
設備真空獲得系統采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優點。
真空腔體采用石英加工而成,呈現圓柱結構,外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效鍍膜質量。
技術參數:
樣品臺 | φ80mm | 至蒸發源間距 |
20mm~50mm可調 | φ80mm | |
直流濺射頭 | 數量 | 2” x1 |
蒸發系統
| 蒸發源 | 鎢絲籃 |
*高溫度 | 1700℃ | |
熱電偶 | S型熱電偶 | |
真空腔體
| 腔體尺寸 | φ180mm X 150mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
真空系統
| 機械泵 | GHD-031B |
抽氣接口 | KF16 | |
真空測量 | 電阻規 | |
排氣接口 | KF16 | |
極限真空 | 10E-1Pa | |
供電電源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵:4L/S | |
濺射電源配置 | 數量 | 直流電源 x1 |
*大輸出功率 | 150w | |
其他
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機尺寸 | 500 X 350 X 400mm | |
整機重量 | 15kg | |
整機功率 | 1.5kw |