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Vision 310 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)

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等離子體化學(xué)氣相沉積

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,下面簡(jiǎn)稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測(cè)量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了長(zhǎng)期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù)、解決方案廣泛地運(yùn)用于中國(guó)香港,中國(guó)大陸(上海、東莞、北京),中國(guó)臺(tái)灣,泰國(guó),菲律賓,馬來(lái)西亞,越南及新加坡等地區(qū)。


岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器、定心儀等。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_(kāi)始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。




膜厚儀,輪廓儀,EVG鍵合機(jī),EVG光刻機(jī),HERZ隔震臺(tái),Microsense電容式位移傳感器

1.靈活的沉積能力

·等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)基于硅的沉積工藝-氧化物、氮化物、氧氮化物、非晶硅(a-Si)、碳化硅(SiC

·等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)研究與開(kāi)發(fā)

·等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)原型制作

·等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)小批量生產(chǎn)-光子學(xué)、固態(tài)照明MEMS和納米技術(shù)

·等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域:層間絕緣層、鈍化層、封裝層、掩模層、抗反射層


2.性能價(jià)值

等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)1.大尺寸手動(dòng)裝載載物臺(tái)(406mm)

2.出色的潔凈度

3.高均勻性

4.高吞吐量 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)

5.可靠的軟件

6.小巧的占地面積

7.具有成本效益

8.易于維護(hù)

9.采用行業(yè)頭部組件


3.經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的解決方案

·廣泛的“交鑰匙”工藝

·通過(guò)優(yōu)化的噴淋頭實(shí)現(xiàn)高薄膜均勻性

·高標(biāo)準(zhǔn)的利用率和可靠性--采用一級(jí)(Tier Ⅰ)OEM組件、快速抽真空、可選原位終點(diǎn)檢測(cè),避免過(guò)度清洗

·享有認(rèn)可的服務(wù)與支持

·通過(guò)低頻或氦氣稀釋實(shí)現(xiàn)應(yīng)力控制


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