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PS100 電容薄膜真空規

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公司介紹 主營產品

　　北京華丞電子有限公司(簡稱：華丞電子)原名北京華創流量計有限公司，在傳承四十余年流量測控經驗技術的基礎上，整合融入射頻、晶圓傳輸等專業技術優勢和創新能力，致力于為半導體、清潔能源、真空工業、生命科學及科學研究五大領域用戶，提供精密零部件產品及整體解決方案。

　　華丞電子秉承“以客戶需求為導向的持續創新”理念，精研需求、尊重科學、潛心技術、持續創新，形成了流量測控、真空測控、氣路系統、射頻電源、ESC直流電源、匹配器、晶圓傳輸系統等系列產品。公司已布局四大研發生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞主要國家和地區。

　　作為精密控制的先行者，華丞電子以持續創新為己任，勇于突破自身邊界，積極探索前沿技術，以合作共贏為基礎，為全球合作伙伴貢獻華丞價值。

展開

氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器

創新點

壓力實時測量

響應時間快，氣體壓力會實時以模擬量數據輸出。

加熱功能

可加熱功能并維持恒定溫度，誤差在±0.5℃，減小環境溫度對產品穩定性的影響。

設定壓力/溫度指示

可設定報警值，低于設定點報警或高于設定點報警，壓力或溫度二選一。

應用領域

半導體-集成電路

清潔能源-光伏

技術指標

型號	PS100
指標	單位	規格參數
量程Full Scale Ranges	Torr	0.1 ~1000等（可定制）
精度Accuracy	% of reading	±0.15% ~ ±1%
分辨率 Resolution	% of F.S.	0.00%
零點溫漂系數Zero Temperature Coefficient	% of F.S./℃	0.02%(0.03% for <10Torr)
溫漂系數Span Temperature Coefficient	%of reading/℃	0.04%
運行溫度范圍Ambient Operating Temperature	℃	15 ~ 40℃
加熱溫度 Sensor Heated Temperature	℃	不加熱、45℃~200℃
預熱時間 Warm-up Time	h	4
耐壓極限 Overpressure Limit	Psia	45（量程 >1Torr) 30 (其它）
工藝側材料Materials Exposed to Process Gases （excluding optional fittings）	/	鎳基合金等
供電電壓Input Power Required	VDC	±15V±10% DC 24V±10% DC
輸出電壓Output Signal	VDC	0 ~ 10V
Trip Relay規格Trip Relay Specifications	/	2個
電氣接口Electrical Connectors	/	D型15針陽接頭、DeviceNet接頭、EtherCAT接頭
腔體檢測接口Connection Fittings	/	VCR1/2〞母接頭、VCR1/4〞母接頭、NW16-KF、NW25-KF 等
安裝方式 Install type	/	豎放,水平