VG200 電容薄膜真空規
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/8/1 8:29:45
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創新點
高溫設計
定制化解決方案
快響應
應用領域
半導體-集成電路
清潔能源-光伏
特種工業-真空鍍膜
生命科學-分析儀器
科學研究-實驗器材
技術指標
型號 | VG200 |
工作環境溫度范圍 | 15℃~50℃ |
存儲環境溫度范圍 | -20℃~80℃ |
存儲環境濕度 | ≤95% |
性能參數
精度 | VG202(不加熱) | 0.15% of reading |
VG204(45℃) | ≥1Torr 0.15% of reading | |
VG210(100℃) | ≥1Torr 0.15% of reading | |
VG215(150℃) | 0.5% of reading | |
VG216(160℃) | 0.5% of reading | |
VG220(200℃) | 0.5% of reading | |
量程 | 0.1 Torr ~1000 Torr | |
分辨率 | 0.001%(1X10-5)of FS | |
溫度漂移系數(Zero) | ≥1Torr 0.002% FS/℃ | |
溫度漂移系數(Span) | 0.02% Reading/℃ | |
響應時間 | >1Torr 20msec | |
加熱溫度 | 不加熱、45℃、100℃、150℃、160℃、200℃ | |
預熱時間 | 4小時 | |
耐壓極限 | >1Torr 45psia(310kpa) |
電氣參數
供電電壓 | ±15V±10% VDC 或者 |
輸出信號 | 0-10V 或者 |
電氣接口 | DB15 male、DeviceNet、Ethercat |