應用領域 | 綜合 |
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池田屋直營??!日本ENERGYS 微量氧分析儀 TF-21D201
傳感器和接收器可以分離
重量輕、結構緊湊,可集成到設備中
低濃度(0-10 ppm范圍)
用法
半導體制造設備:擴散爐、RTP、各種N2爐氣氛測量、空氣分離設備
格式 | TF-21D201(TF-21型傳感器+DTF-201型接收器) | |
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傳感器 | TF-21 | |
接收者 | DTF-201 | |
測量原理 | 氧化鋯濃差電池系統 | |
測量范圍 | 最小 0-10 ppm 至最大 0-100% 四個范圍可選,零點固定 | |
校準 | 空氣點 + 最多可校準 4 點 | |
輸出 | 4 至 20mA DC x 1 點(非絕緣輸出,負載電阻 600Ω 或更?。?br/>0 至 1V DC 或 0 至 5V DC 或 0 至 10V DC x 1 點可選(非絕緣輸出) | |
樣氣/校準氣流量 | 0.5±0.02升/分鐘。 | |
準確性 | 重復性 | ±1% FS(小于0至1%范圍)±0.5% FS(0至1%范圍或以上) |
線性 | ±1% FS(0 至 1% 或以上)、±2% FS(0 至 1% 以下)、±3% FS(0 至 100 ppm 以下) | |
響應時間 | 0-1% 或以上:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 *通過切換校準氣體可實現 90% 的響應 | |
漂移 | ±2%FS/周以下 | |
電源 | AC85至132V *選項:AC170至264V,DC24V±10% | |
接點輸入(無電壓接點輸入) | 范圍切換輸入 | |
接點輸出 (開路集電極輸出, DC25V,最大50mA ,NO/NC可切換) | 分析儀異常 量程回波(2 量程鑒別) 量程回波(3 量程鑒別) READY 濃度上限報警(可設定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%) 濃度下限報警(可設定 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%) *從上面選擇 4 點,可以更改設置 | |
量程切換 | 本地量程切換 / 遠程量程切換 / 自動量程切換 *從上面選擇并更改設置 | |
輸出HOLD設置 | 無、任意值或錯誤發生前 5 秒的值。 *預熱期間或傳感器或接收器發生錯誤時按住。 | |
濃度上下限報警 | 上限報警:可設定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0% 下限報警:可設定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0% | |
RS232C通訊功能 | 傳輸測量狀態、錯誤代碼、測量范圍、測量值。 通信電纜規格:直通電纜 |
格式 | SH-304 | |
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傳感器 | TF-21 | |
接收者 | DTF-201 | |
測量原理 | 氧化鋯濃差電池系統 | |
測量范圍 | 0-10 / 100 / 1,000 ppm, 0-100% * 最小 0-10 ppm ~ 最大 0-100% 可在零點固定的情況下選擇 4 個量程中的任意一個 | |
校準 | 空氣點 + 最多可校準 4 點 | |
輸出 | DC4~20mA×1點(非絕緣輸出,負載電阻600Ω以下) DC0~1V×1點(非絕緣輸出) | |
樣氣/校準氣流量 | 0.3±0.05升/分鐘。 | |
準確性 | 重復性 | ±1% FS(小于0至1%范圍)±0.5% FS(0至1%范圍或以上) |
線性 | ±3% FS(0 至小于 100 ppm)±2% FS(0 至小于 1%)±4% FS(0 至 1% 或以上) | |
響應時間 | 0-1% 或以上:10 秒或更短 0-1% 或更短:30 秒或更短 *通過切換校準氣體可實現 90% 的響應 | |
漂移 | ±2%FS/周以下 | |
電源 | DC24V±10% | |
接點輸入(無電壓接點輸入) | 范圍切換輸入 | |
接點輸出 (開路集電極輸出, DC25V,最大50mA ,NO/NC可切換) | 分析儀異常 READY 濃度上限報警(可設置范圍 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%) 濃度下限報警(可設置范圍 0.0 至 9990.0 ppm 或 0.0 至 100.0%) 量程回波(2 個量程鑒別) 量程回波(3 個量程鑒別) * 前 4 項為標準,后 2 項也可更改。 | |
量程切換 | 自動量程切換 * 還可以選擇遠程量程和本地量程切換并更改設置 | |
輸出HOLD設置 | 在異常發生前 5 秒保持該值。 *預熱期間或傳感器或接收器發生異常時保持 。*您也可以選擇不保持或保持任意值。 | |
濃度上下限報警 | 上限報警:可設定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0% 下限報警:可設定0.0~9990.0 ppm或0.0~100.0% | |
RS232C通訊功能 | 傳輸測量狀態、錯誤代碼、測量范圍、測量值。 通信電纜規格:直通電纜 |