東京電子（TEL）的19S晶圓測試機相關信息可歸納如下：

?? 1. ?設備定位與技術特性?

• ?MEMS專用測試平臺?：19S屬于東京電子TEMEON系列產品，專為晶圓級MEMS（微機電系統）器件的電氣測試設計。該系列包含針對不同傳感原理的專用型號，例如：

• TEMEON-M：適用于壓阻式MEMS傳感器（如壓力傳感器），已實現批量生產9。

• TEMEON-C：針對電容式MEMS器件（如加速度計、陀螺儀），支持高精度電容測量9。

• ?高精度測量能力?：具備晶圓級測試所需的超高精度，可直接在制造過程中篩選良品，提升下游封裝效率913。

?? 2. ?應用領域?

• ?主流MEMS器件測試?：覆蓋慣性傳感器（加速度計、陀螺儀）、壓力傳感器、麥克風等需晶圓級電氣驗證的器件9。

• ?兼容性拓展?：通過模塊化設計適配不同MEMS工藝需求，支持定制化測試方案13。

?? 3. ?技術背景與演進?

• ?系列化產品布局?：東京電子自2006年起推出TEMEON系列，持續迭代以滿足MEMS器件復雜化趨勢（如多傳感融合芯片）9。

• ?市場定位?：作為半導體前道測試設備的關鍵補充，強化TEL在封測設備環節的技術覆蓋213。

?? ?小結?
東京電子19S晶圓測試機是其TEMEON系列中面向MEMS器件的專業測試平臺，以高精度電容/電阻測量為核心能力，服務于傳感器晶圓的量產質量控制。其技術演進反映了TEL在細分測試設備領域的持續深耕