CYR-E-HF 電子級氫氟酸濃度計(jì) SEMIG5級在線智能檢測
參考價 | ¥ 9999 | ¥ 8888 |
訂貨量 | 1-9套 | ≥10套 |
- 公司名稱 湖南楚一機(jī)電有限公司
- 品牌 楚一測控
- 型號 CYR-E-HF
- 產(chǎn)地 湖南長沙
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/8/11 16:23:49
- 訪問次數(shù) 18
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主營產(chǎn)品:在線濃度計(jì),濃度在線光電折光儀,在線濃度測定儀,溶液在線濃度儀,在線濃度折光儀,濃度在線檢測儀,在線濃度檢測儀,在線折光儀,在線濃度測量儀,濃度在線監(jiān)測儀,濃度在線監(jiān)控自動配液設(shè)備,在線濃度測試儀。
測量范圍 | 0-55% | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
---|---|---|---|
產(chǎn)品種類 | 在線 | 價格區(qū)間 | 5千-1.5萬 |
數(shù)顯功能 | 有 | 溫控功能 | 有 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,農(nóng)林牧漁,綜合 | 測量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
分 辨 率 | 0.01% | 重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ | 溫度補(bǔ)償 | 0至130℃ |
觸液面材質(zhì) | 超純PTFE或PFA | 防護(hù)等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa | 安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
電子級氫氟酸是半導(dǎo)體、集成電路、液晶顯示器(LCD)、太陽能電池等微電子行業(yè)中的關(guān)鍵化學(xué)品。它是一種超高純度的氫氟酸水溶液,用于:
清洗與刻蝕:清除晶圓表面的氧化物、金屬雜質(zhì)、有機(jī)污染物,并刻蝕硅、二氧化硅、氮化硅等材料。
拋光:改善晶圓表面平整度,提高器件性能。
調(diào)整摻雜:在一些工藝中用于調(diào)整硅片的摻雜濃度。
電子級氫氟酸的濃度須準(zhǔn)確控制,偏離目標(biāo)值會帶來嚴(yán)重問題:
濃度過高會導(dǎo)致過度刻蝕,造成器件尺寸偏差甚至損壞,還會腐蝕設(shè)備管道和容器,帶來安全隱患和經(jīng)濟(jì)損失,并增加高濃度HF廢液的處理難度,導(dǎo)致成本高昂。而濃度過低則會導(dǎo)致清洗效果差,無法有效去除污染物,影響器件性能,同時刻蝕速率慢,延長工藝時間,降低生產(chǎn)效率,導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降,甚至報廢,增加產(chǎn)品報廢率。
傳統(tǒng)的人工滴定、化學(xué)分析等檢測方法存在以下不足:
耗時費(fèi)力:需要人工取樣、化驗(yàn),過程繁瑣。
滯后性:無法實(shí)時監(jiān)測濃度變化,容易造成偏差。
人為誤差:存在操作誤差,影響檢測精度。
安全性問題:人工接觸HF有安全風(fēng)險。
產(chǎn)品優(yōu)勢
電子級氫氟酸濃度計(jì)采用分體式設(shè)計(jì),有濃度傳感器和多功能主機(jī)組成,通過傳感器測量,多功能主機(jī)顯示及控制。
傳感器采用超純PFA/PTFE流通池結(jié)構(gòu)結(jié)合大面積藍(lán)寶石光學(xué)棱鏡,通過長期技術(shù)積累和攻關(guān)研發(fā),解決了半導(dǎo)體行業(yè)濕電子化學(xué)品濃度在線測控類產(chǎn)品的“卡脖子”問題。
電子級氫氟酸濃度計(jì)具有高精度、SEMIG5級、耐高溫、長壽命光源、光強(qiáng)自調(diào)節(jié)、恒溫探測器等特點(diǎn)。儀表無需樣品預(yù)處理,無需試劑耗材,秒量級的快速測量,讓企業(yè)實(shí)時掌握生產(chǎn)動態(tài)。在檢測過程中無機(jī)械動作,確保長期使用穩(wěn)定。儀表采用長達(dá)10萬小時的超長壽命光源,檢測過程無機(jī)械動作,確保長期穩(wěn)定運(yùn)行,降低維護(hù)成本。全平面結(jié)構(gòu)的檢測棱鏡,避免藏污納垢。出廠校準(zhǔn)和自動溫度補(bǔ)償,讓您直接投入使用,無需繁瑣設(shè)置。還支持上位機(jī)通訊,4-20mA&RS485信號輸出、報警及控制等開關(guān)量信號輸出,支持?jǐn)?shù)據(jù)建模功能,可定制數(shù)據(jù)模型。
應(yīng)用場景
HF配液系統(tǒng):實(shí)時監(jiān)測配液濃度,確保配液精度。
清洗槽:實(shí)時監(jiān)測清洗液濃度,控制清洗效果。
刻蝕槽:實(shí)時監(jiān)測刻蝕液濃度,控制刻蝕速率。
廢液處理系統(tǒng):監(jiān)測廢液濃度,優(yōu)化處理工藝。
HF儲罐:監(jiān)測儲罐內(nèi)HF濃度,確保質(zhì)量。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號 | CYR-E-HF |
測量項(xiàng)目 | 折射率、溫度、濃度 |
測量范圍 | 0-55% |
分 辨 率 | 0.01% |
重復(fù)精度 | ± 0.02% |
測量溫度 | 0至130℃ |
溫度補(bǔ)償 | 0-130℃ |
關(guān)鍵材質(zhì) | 觸液面材質(zhì):超純PTFE或PFA;外殼:襯氟 |
棱鏡材質(zhì) | 光學(xué)級藍(lán)寶石 |
信號輸出 | DC4至20mA & RS485;2路開關(guān)量信號輸出 |
輸入電源 | DC 24V 或 AC 220V |
防護(hù)等級 | IP65 |
工藝壓力 | ≤1MPa(10Bar)更高壓力等級可定制 |
尺寸重量 | 傳感器:¢119 * 188mm / 約2.0KG |
安裝選項(xiàng) | 1/2英寸管路安裝 |
其他功能 | 多功能主機(jī)操作面板可查看濃度、溫度、折射率等數(shù)據(jù) 支持故障碼提示、一鍵校零、恢復(fù)出廠設(shè)置、曲線記錄及數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能 |