核心技術特點

1. 成像系統

• 采用高亮度CeB6電子槍，提供穩定的電子束源

• 分辨率可達3.0nm@30kV（二次電子模式）

• 加速電壓范圍：1-30kV，多檔可調

2. 樣品處理系統

• 樣品室尺寸：Φ150mm×H80mm

• 最大樣品尺寸：直徑100mm

• 五軸電動樣品臺，移動精度±1μm

3. 檢測系統

• 標配二次電子探測器(SE)

• 可選配背散射電子探測器(BSE)

• 真空系統：分子泵+隔膜泵組合

操作與軟件系統

1. 控制系統

• 集成化觸摸屏操作界面

• 全中文操作軟件

• 自動對中、自動聚焦功能

2. 分析功能

• 實時圖像采集與處理

• 基本尺寸測量功能

• 圖像拼接與景深擴展

典型應用場景

1. 材料科學研究

• 金屬/陶瓷微觀結構觀察

• 納米材料形貌表征

• 復合材料界面分析

2. 工業質量控制

• 電子元器件表面檢測

• 涂層/鍍層質量評估

• 失效分析

3. 教育培訓

• 電子顯微學教學演示

• 科研入門設備

產品優勢

1. 空間效率：緊湊型設計，占地面積僅0.5m2

2. 操作便捷：簡化樣品制備流程，降低使用門檻

3. 性價比優勢：相比傳統電鏡具有更低的購置和維護成本

4. 維護簡便：模塊化設計，關鍵部件易于更換

技術參數對比

適用用戶群體

• 中小型實驗室

• 企業QC部門

• 教育機構

• 需要快速電鏡服務的用戶

總結

ZEM15C臺式掃描電鏡在分辨率、操作便捷性和空間效率等方面取得了良好平衡，特別適合對設備體積敏感且不需要超高分辨率的應用場景。該產品為傳統電鏡用戶提供了更具靈活性的選擇，同時也為電鏡技術普及提供了新的可能。澤攸科技ZEM15C臺式掃描電鏡技術解析與應用澤攸科技ZEM15C臺式掃描電鏡技術解析與應用