產地類別 | 國產 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合 |
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一、產品概覽:工業與科研的“微觀之眼”
作為西班牙Sensofar公司推出的新一代非接觸式3D表面光學輪廓儀,S lynx系列以“三合一測量技術”為核心,融合白光干涉、共聚焦成像與AI多焦面疊加三大功能,覆蓋從納米級光滑表面到微米級粗糙結構的全尺度測量需求。其緊湊設計(整機尺寸420mm×380mm×580mm,重量不足35kg)與模塊化結構,可靈活部署于潔凈車間、實驗室或生產線,成為半導體、汽車制造、生物醫學等領域的“形貌分析利器”。Sensofar S lynx 光學輪廓儀表面測量新維度Sensofar S lynx 光學輪廓儀表面測量新維度
二、產品性能:技術突破定義
三重測量技術協同
白光干涉模式:針對Ra<10nm的超光滑表面(如半導體晶圓、光學鏡片),垂直分辨率達0.1nm,可精準捕捉納米級缺陷與形貌變化。
共聚焦成像模式:通過針孔濾波排除離焦光干擾,橫向分辨率達0.09μm,適用于金屬加工件、陶瓷涂層等中等粗糙度表面的紋理與形貌復合分析。
AI多焦面疊加技術:針對Ra>1μm的粗糙表面(如3D打印構件、地質樣本),通過深度學習算法融合多焦面圖像,在10mm垂直行程內保持0.5μm重復性精度,測量效率較傳統方法提升3倍。
動態范圍與效率平衡
電動XY平臺行程達125mm×75mm,支持高精度傾斜調整(角度分辨率0.001°),可自動完成樣品定位與調平。
傳感器頭內嵌計算單元,數據預處理效率提升40%,搭配SensoVIEW 2.0軟件,實現ISO 25178、ASA S2等20余種國際標準參數計算,并支持數字孿生映射與MES/ERP系統無縫對接。
三、核心參數與技術規格
參數項 | S lynx 2型號 |
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測試范圍 | 125mm×75mm(電動平臺) |
垂直分辨率 | 0.1nm(白光干涉模式) |
橫向分辨率 | 0.09μm(共聚焦模式) |
最大斜率測量 | 86°(粗糙表面) |
物鏡可選范圍 | 2.5×-100×(支持手動/電動切換) |
數據處理速度 | 共聚焦模式9幀/秒,明場模式30幀/秒 |
軟件功能 | SensoSCAN(基礎分析)、SensoMAP/PRO(高階分析) |
四、用材與工藝:工業級耐用性保障
光學系統:采用德國肖特光學玻璃與日本濱松LED光源,確保光路穩定性與色彩還原度。
機械結構:航空級鋁合金框架搭配大理石基座,抗振動干擾能力提升50%,適應復雜工業環境。
防護設計:IP54防護等級,防塵防水濺,關鍵部件(如物鏡、電動平臺)采用密封設計,延長使用壽命。
五、應用場景:跨行業解決方案
半導體制造:檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度,評估刻蝕均勻性與側壁粗糙度。
新能源電池:非接觸式測量極片涂層厚度一致性,避免探針劃傷風險,支持米級長度在線全檢。
生物醫學:分析人工關節羥基磷灰石涂層的孔隙率與結晶度,預測植入物壽命。
汽車工程:測量發動機缸體、渦輪葉片的表面粗糙度,優化摩擦性能與耐久性。
六、包裝與運輸:安全無憂的交付體驗
定制化包裝:采用高密度泡沫內襯與防震木箱,通過ISTA 3A運輸測試標準,確保設備在長途運輸中免受沖擊。
配件清單:包含標準物鏡套裝(5×/10×/50×)、校準樣塊、SensoSCAN軟件授權、操作手冊與快速指南。
七、使用說明:從開箱到測量的全流程支持
安裝調試:由Sensofar認證工程師提供現場安裝與光路校準服務,確保設備達到出廠精度標準。
操作培訓:通過線上課程與線下實操結合,覆蓋軟件參數設置、測量模式選擇、數據分析報告生成等全流程。
維護指南:提供每日清潔、季度校準、年度保養的標準化流程,延長設備使用壽命。
結語:S lynx——讓微觀世界觸手可及
從晶圓廠的納米級缺陷檢測到汽車生產線的表面質量管控,Sensofar S lynx以“精準、高效、智能”重新定義表面測量標準。其三合一技術架構與工業級設計,不僅滿足當前制造需求,更通過數字孿生與AI集成,為工業4.0時代的智能化轉型提供核心數據支撐。選擇S lynx,即是選擇一個更精密、更可靠的微觀世界探索伙伴。Sensofar S lynx 光學輪廓儀表面測量新維度