石英晶體微天平是一種非常靈敏的質量傳感器，能夠簡便實時的測量過程中的質量變化，檢測限達納克級。石英晶體傳感器的基本構成大致是：從一塊石英晶體上沿著與石英晶體主光軸成35°15'切割得到石英晶體振蕩片，在它的兩個對應面上涂敷銀層作為電極，石英晶體夾在兩片電極中間形成三明治結構。在每個電極上各焊一根引線接到管腳上，再加上封裝外殼就構成了石英晶體諧振器，其產品一般用金屬外殼封裝，也有用玻璃殼、陶瓷或塑料封裝的。
石英晶體微天平應用領域：
生物聚合物相互作用的表征，如蛋白質；
高分子的形成和分解的實時監測；
采用EQCM對鋰離子二次電池進行評價；
氣相分析，如濕度及有氣味的物質；
表面清潔性的定量分析；
沉積層的厚度測試；
通過測試電導的頻率特征來對結構變化進行分析。
