激光器

    多種類型的激光器都可以被用到LIBS 系統中。Nd:YAG 激光器在其基本波長 1064 nm 或諧波波長之一（通常為 266 nm 或 213 nm）是常用的激光器。脈沖寬度通常為 6 ~15 ns，重復率從單次發射到 >20 Hz。單脈沖 LIBS 使用單個激光脈沖來燒蝕和激發原子。雙脈沖 LIBS 采用與第一個脈沖垂直或共線的第二個激光脈沖從樣品中激發更高比例的原子，從而增加峰值強度而不會對樣品產生額外影響。

收集光

      在大多數實驗室和便攜式 LIBS 系統中，來自等離子體的光子通過等離子體附近的透鏡收集，并通過光纖傳輸到光譜儀。另一種方法稱為遠距離LIBS（stand-off LIBS），它被用于 NASA 火星科學實驗室好奇號的 ChemCam 儀器包中。在遠距離 LIBS 中，分析的樣品距離儀器本身幾米，被光子被望遠鏡捕獲并通過光纖傳輸到光譜儀。

衍射產生光譜

     LIBS 系統中使用了幾種類型的光譜儀，最常見的是階梯光譜儀。光譜儀輸出記錄在 CCD（電荷耦合器件）上，很像數碼相機。在許多情況下，光子收集在激光脈沖后幾微秒開始，以最大限度地減少非量子過程發射的光的收集，例如電子和原子之間的動力學相互作用。激光燒蝕和光子收集之間的時間稱為 Q 開關延遲。