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ThetaMetrisis FR-Scanner 是一款緊湊的臺式測量工具，全自動測繪涂層的厚度，基底適用于晶圓、掩膜版及其它材料。
FR-Scanner 可以快速準(zhǔn)確地測量薄膜特性，比如厚度、折射系數(shù)、均勻性、色度等，真空吸盤可應(yīng)用于任何直徑或其它形狀的樣品。
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