高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)在中國科技大學(xué)安裝

孚光精儀高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)日前在中國科技大學(xué)中科院量子信息重點(diǎn)實驗室安裝成功,成為代表我公司飛秒激光微加工光刻機(jī)裝備和服務(wù)水平的又一力作.

這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)具有當(dāng)今上飛秒激光直寫光刻微加工的水平,為中國科技大學(xué)科學(xué)研究提供可靠保障,可廣泛用于紫外飛秒微加工,飛秒微納加工和飛秒精細(xì)加工的各種應(yīng)用.
這套高分辨率飛秒激光直接光刻微加工系統(tǒng)有全自動化控制加工功能,自動樣品納米級定位系統(tǒng)，自動調(diào)整激光偏振和激光能量調(diào)整功能，真正實現(xiàn)了省心，操作，非常適合激光微納加工的探索研究。
紫外飛秒激光與物質(zhì)的相互作用是jianduan的課題，紫外光具有更高的光子能量，對材料的微納加工更具優(yōu)勢，紫外波段超快激光與物質(zhì)的相互作用值得探索，然而紫外飛秒激光的穩(wěn)定應(yīng)用相比于基頻光更為困難，這一難題在孚光精儀歐洲中心突破后，實現(xiàn)媲美基頻光的穩(wěn)定性和可靠性，并發(fā)射出適合科學(xué)研究的激光能量。