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FPAPO-AP-200-進口光電測試探針臺
  • FPAPO-AP-200-進口光電測試探針臺
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貨物所在地:上海上海市

地: www.felles.cn/t

更新時間:2024-09-02 17:13:02

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這款光電測試探針臺是專業為8英寸和12英寸晶圓光電流測試設計的專業半自動變溫光電探針臺,可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環境下晶圓變溫測試和射頻測試,可以實現自動晶圓對準和自動芯片對準。

光電測試探針臺是專業為8英寸和12英寸晶圓光電流測試設計的專業半自動變溫光電探針臺,可滿足8英寸和12英寸晶圓變溫光電測試需要,測試溫度范圍-60~350℃,特別適合高溫和低溫環境下晶圓變溫測試和射頻測試,可以實現自動晶圓對準和自動芯片對準。
光電測試探針臺特點
可選擇6'',8''晶圓和12''晶圓配置
測試溫度:-60℃~350℃
適合高功率器件測試20kV DC/200A
可選擇芯片固定配件
可配備護罩,防止露水凝結
可配備屏蔽罩,提供較低噪音環境
配備專用測試軟件,提高晶圓測試效率
采用圖像識別技術,可以實現自動晶圓對準和自動芯片對準

光電測試探針臺應用
Low level IV (fA)和Low level CV (fF)
高功率器件探針測試:20KV DC/200A
RF射頻測試
高功率器件測試20kV DC/200A
各種電阻測量,如sheet電阻測量
高溫和低溫環境下的溫度特性測試
可靠性測試,如TDDB
光電測試探針臺可選配件
Thermal chuck from -60℃~+350°C
355nm~1064nm激光切割機
各種光源
三目顯微鏡(標配體視顯微鏡)
CCD相機
Probe card (4.5 inch square PCB)
光電測試探針臺可連接配合的測試儀器
設備分析儀/參數分析儀
功率器件分析儀
源度量單位
曲線跟蹤器
精密LCR儀表
數字萬用表
阻抗分析儀
網絡分析器
光電測試探針臺規格參數

型號AP-200AP-300
晶圓卡片尺寸~8英寸~12英寸
XY位移臺行程(粗調)X:200mm, Y:400mmX:320mm, Y:500mm
XYZ位移臺控制精度0.1μm0.1μm
XYZ位移臺重復定位精度±2μm±3μm
XY位移臺精度±5μm±10μm
XY位移臺移動速度30㎜/sec(Max)25㎜/sec(Max)
Z位移臺行程范圍30mm80mm
Z位移臺移動速度25㎜/sec(Max)25㎜/sec(Max)
位移臺θ范圍±5deg±6deg
θ分辨率0.001度0.000022294deg
尺寸W760×D1000×H1020㎜W880×D1260×H1030㎜
重量400kg800kg





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