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自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)是為晶圓電阻率繪圖mapping設(shè)計(jì)的工業(yè)級(jí)自動(dòng)四點(diǎn)探針電阻率測(cè)試系統(tǒng)。采用成熟的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，提供快速、準(zhǔn)確和可靠的晶圓樣品電阻率分布測(cè)量。
自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)四點(diǎn)探針通過(guò)電流通過(guò)四點(diǎn)探針的外部點(diǎn)并測(cè)量?jī)?nèi)部點(diǎn)的電壓來(lái)測(cè)量各層半導(dǎo)體晶片的平均電阻,可滿足100mm、150mm、200mm或300mm晶圓測(cè)試,自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)四點(diǎn)探頭設(shè)計(jì)為免維護(hù)且非常易于使用。該自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)有多種選擇，包括廣泛的熱測(cè)試、非標(biāo)準(zhǔn)材料的定制卡盤(pán)和幾乎任何應(yīng)用定制的4點(diǎn)探針。
自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)具有自動(dòng)化軟件,允許使用電阻率測(cè)繪mapping系統(tǒng)進(jìn)行半自動(dòng)化或全自動(dòng)化測(cè)試。該軟件設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單但功能強(qiáng)大，允許用戶輕松設(shè)置幾乎任何類(lèi)型晶圓結(jié)構(gòu)的自動(dòng)測(cè)試程序。基于LabView的軟件具有邏輯結(jié)構(gòu)，可以方便地集成客戶自己的測(cè)試和測(cè)量設(shè)備。該軟件可以安裝在任何具有Windows XP或更高操作系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上。

自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)特色

用戶友好,快速而精確測(cè)量

軟件設(shè)計(jì)操作簡(jiǎn)單，具有多種數(shù)據(jù)處理功能，可實(shí)現(xiàn)2D和3D電阻率mapping

適合大部分材料和結(jié)構(gòu)測(cè)試

適合電阻率范圍大,適合sheet resistance測(cè)量

適合溫度范圍-60℃到300℃

可選購(gòu)1-，5-，9-，25-，49-,121-等多點(diǎn)探針測(cè)試型號(hào)，也可根據(jù)客戶要求訂制

可調(diào)真空樣品卡盤(pán),適合樣品尺寸5mm~300mm

可定制真空或環(huán)境控制版本

自動(dòng)四探針電阻率mapping測(cè)試系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

適合樣品尺寸：5mm ~300mm

電阻測(cè)量范圍：1 mΩ/sq. ~  500MΩ/sq.

精度：0.3%

測(cè)量時(shí)間：5秒/點(diǎn)

XYZ分辨率：<1.5um

真空樣品夾盤(pán)：多區(qū)真空

夾盤(pán)平整度：+/-13um

夾盤(pán)擊穿電壓：500V

夾盤(pán)隔離度：>1GW

溫度范圍：-60℃~300℃

數(shù)據(jù)輸出：電阻率和電阻值，或者厚度