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光學表面測試儀是為光學表面平整度測試設計的平整度測量儀,采用Shack-Hartmann波前傳感器技術,激光束從被測光學表面反射后,進入Shack-Hartmann波前傳感器進一步分析獲得表面光學數據。
光學表面測試儀規格
•輸入孔徑：10~50mm（可選最大300mm）
•測量時間：10ms
•測量精度：0.032μm（P-V）
•測量像差P-V值：高達5μm
•光源-二極管激光器
•激光波長-0.65μm
•探測器：CCD/CMOS相機
光學表面測試儀測量結果如下：
•P-V和RMS
•像差擴展到Seidel和Zernike多項式（傾斜、散焦、像散等）
•條紋展示，二維和三維波前
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