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我們可以從幾個方面去區別這兩款儀器但不管怎么去區分他們還是可以同時檢測相同的工件，只是在精度上有所不同影像測量儀的精度會更高于工具顯微鏡因為它更借助于高技術的點坐標數據處理原理而工具顯微鏡還只是在傳統的標尺準對方式上。這也是他們兩者其中之一的區別。如果從原理上分，我們比較容易理解工具顯微鏡的原理而影像儀原理更為復雜同樣是在光學成像的基礎上測量對象，而影像儀多了一層影像處理技術這款技術在運用現在高技術的圖片集點運算法則，將各種幾何元素的位置關系表達得更為精準清晰。而工具顯微鏡的這種精準度和清晰度更依懶于人工的操作和偶然的外界條件誤差也是可控或者不可控的。

　　這兩種光學儀器在結構上也不相同影像儀通常由基座和幾大檢測系統連同PC電腦組裝成，工具顯微鏡就顯得稍微簡單些操作者只需要熟練的技巧就可通過視覺來讀取被測工件尺寸大小，而影像儀除此之外，更要懂得運用操作軟件有些幾何檢測位置關系要去軟件中索取或者新建，這相對而言，是有一定的專業性。